[其他]蚀刻玻璃及其制造方法

权利要求书

1、一种制品包括一块玻璃板并具有蚀刻图案，其特征在于所说的玻璃板是一种化学钢化玻璃板，图案包括一条或多条纹道，这些纹道由氟离子蚀刻在制品上，深度小于2μm。

2、一种按照权利要求1的制品，其中图案包括紧密相间的纹道部分，纹道宽度小于10μm，且相邻纹道之间的间距小于10μm。

3、一种按照权利要求2的制品，其中蚀刻纹道部分宽度小于1.5μm，深度大于50nm，而相邻两纹道的间距小于2μm。

4、一种按照上述任意权利要求的制品，其中的图案被蚀刻在钢化玻璃板表面层里。

5、按照权利要求1到3中的任意权利要求的一种制品，其中蚀刻纹道部分蚀刻在沉积在钢化玻璃上的一层无机材料上，该材料的硬度基本上等于或者大于玻璃的硬度。

6、一种按照权利要求5的制品，其中所说的无机层基本上由单一组分组成。

7、一种按照权利要求6的制品，其中所说的无机层是SiO₂层。

8、按照权利要求5到7的任意权利要求的一种制品，其中蚀刻纹道部分的深度基本上等于无机层的厚度。

9、按照上述任意权利要求的一种制品，其中该制品包括一个抗反射层。

10、按照上述任意权利要求的一种制品，其中所说的玻璃板为一种浮法玻璃板。

11、按照上述任意权利要求的一种制品，其中所说的玻璃板厚度小于2mm。

12、按照上述任意权利要求的一种制品，其中图案被蚀刻在带有纹道的制品的一个表面上，这些纹道以网式分布，形成网格状图案，网格的尺寸小于0.5μm，而其中该面在可见光谱内的总的光学反射小于4%。

13、按照权利要求12的一种制品，其中蚀刻纹道的深度大于0.1μm。

14、按照权利要求12或13的一种制品，其中网格的尺寸小于0.1μm。

15、按照权利要求1到11中任意权利要求的一种制品，其中蚀刻纹道部分形成螺旋导轨。其螺距小于2μm。

16、按照权利要求1到11中的任意权利要求的一种制品，其中蚀刻纹道形成一系列同心环状的螺旋导轨，其螺距小于2μm。

17、按照权利要求15或16的一种制品是一种园盘。

18、按照权利要求15到17中的任意权利要求的一种制品，其中所说导轨的底部的粗糙度Ra小于10nm，最好小于5nm。

19、按照权利要求15到18中的任意权利要求的一种制品，其中所述的导轨的边基本对称倾斜于垂直于导轨底部的轴。

20、按照权利要求17和18或19的一种园盘，其中该园盘适用于记录数据的储存。

21、按照权利要求20的一种园盘，其中蚀刻图案可用地址法调节。

22、按照权利要求20或21的一种园盘，其中蚀刻的图案被一层数据记录层覆盖。

23、按照权利要求20或21的一种园盘，其中蚀刻图案可用数据法调节。

24、一种制造包括玻璃板并具有蚀刻图案的制品的工艺方法，其特征在于玻璃板被化学钢化，在该板的至少一个面上覆盖上一层辐射敏感材料并使之接受辐射形成一种所需蚀刻纹道图案的潜象，同时该辐射敏感材料形成一种防护层，然后使它穿过防护层接受一种蚀刻介质中氟离子的作用，从而蚀刻出所需的纹道图案，纹道深度小于2μm。

25、按照权利要求24的一种工艺方法，可用于数据储存园盘的制造。

26、按照权利要求25的一种工艺方法，其中纹道图案被蚀刻成螺旋状，其螺距小于2μm。

27、按照权利要求25的一种工艺方法，其中纹道图案被蚀刻成一系列同心园环，其螺距小于2μm。

28、按照权利要求25到27的任意权利要求的一种工艺方法，其中纹道图案的底部的粗糙度小于10nm，最好小于5nm。