[其他]一种光学显微镜聚光照明系统

说明书

本实用新型涉及一种改进的光学显微镜聚光照明系统，能实现非相干光照明。特别适用于各种高倍光学显微镜。

现有的光学显微镜聚光照明系统由光源、光阑、聚光装置组成。由于光源灯丝面积和聚光系统孔栏的限制，照明物面的光都是部分相干或完全相干的。这样当微小物体经显微物镜放大、成象在象面上时，总有物体的衍射象产生。被观测物体越小，放大倍数越高，衍射现象越严重。当观测微米级的微小物体时，由于衍射效应，已难于看清微小物体的边沿。而对于高倍光学测量显微镜，则无法正确测量。这是使用现有光学显微镜聚光照明系统所不可避免的缺陷。

本实用新型的目的是提供一种改进的光学显微镜聚光照明系统，实现非相干光照明，消除由于相干光或部分相干光照明引起的衍射现象，大大提高光学显微镜的成象质量。

本实用新型的目的是以下列方式实现的：该光学显微镜聚光照明系统由光源、光阑、聚光装置、以及在聚光装置与物面之间的漫透射板构成。从光源发出的光经光阑和聚光装置后，射到漫透射板上。该漫透射板具有如下特性：当光照亮该板时，它可作为一个由无数个点光源组成、光亮度极为均匀的余弦面发光体。光再从该板射出照明物体。

采用这种光学显微镜聚光照明系统，照明光可不受聚光照明系统孔栏和光源灯丝大小的影响，实现非相干光照明，消除由于相干光或部分相干光照明引起的衍射条纹，提高象质。同时能增大显微镜聚光照明系统的数值孔径、提高照明均匀度，大大有利于光学显微镜的调焦、观察和测量。本实用新型制造使用方便，采用下面要详述的实施例结构，其成本比普通的光学显微镜聚光照明系统几乎没有增加。

以下参照附图，结合具体实施例对本实用新型作进一步详细描述。

图1是本实用新型用在普通显微镜上一种具体结构的原理剖面图。

图2是本实用新型用于一种线宽测量装置上的结构原理图。

参照图1，本实用新型的第一个实施例是：光源1发出的光经光阑2射入聚光装置3，光线经聚光装置3会聚后射向漫透射板5，再经漫透射板5散射，照明显微镜工作台7上的物面8，实现非相干光照明。漫透射板5用0.1－4mm厚的微晶玻璃制成，最好是0.2－0.5mm厚的微晶玻璃；本实施例中最好是采用白色微晶玻璃；也可用多块漫透射板材料叠加而成。漫透射板5安放在聚光镜筒4内，用压圈6螺纹固紧。也可在光学显微镜上附加零件，将漫透射板5装成在聚光装置3与物面8之间能移入移出显微镜光路的独立活动元件。漫透射板5的表面应垂直显微镜光轴9，聚光镜筒4除在顶端增加安放漫透射板5的台阶10外，仍按普通光学显微镜聚光镜安装要求设计。若显微镜需用特定波长的光照明，则只需选用相应的光源或增加特定的滤光片。也有可能应用只透过特定波长光的微晶玻璃或具有微晶玻璃特性的其它材料制成漫透射板5。

图2为本实用新型的第二个实施例。其原理与前面叙述的相同。光源1发出的光经第一聚光镜11、光阑2、反光镜13，第二聚光镜12后，会聚射向漫透射板5，再照明显微镜工作台7上的物面8，实现非相干光照明。物体由光度式光电显微物镜系统14放大、光电接收。该实施例的特点在于：漫透射板5安装在显微镜工作台7内，用压圈6螺纹固紧。也可用其它安装方法，将漫透射板5做成显微镜工作台的一部分，在其上放置物体。

本实用新型还适用于所有带有显微物镜仪器的显微镜照明使用。