[其他]一种用于盘形分子泵的抽气圆盘

权利要求书

1、本实用新型提出了一种可用于盘形分子泵的抽气圆盘，其特征在于抽气圆盘的一侧或两侧面上开有沿圆周均匀分布呈放射状的圆弧线形抽气沟槽或直线形抽气沟槽，即抽气沟槽槽壁的线形为圆弧线形或直线形。

2、权利要求1所述的抽气圆盘，其特征在于抽气沟槽的圆弧线形槽壁的弧长S由S＝Ryθ来确定，而盘面上所有圆弧线形槽壁所对应的圆心都位于半径为Rx的圆周上，该圆周的圆心与抽气圆盘的圆心重合。

3、权利要求1或2所述的抽气圆盘，其特征在于抽气沟槽基本呈矩形，或阶梯矩形，或一直角边与盘面重合的直角三角形。

4、权利要求1或2所述的抽气圆盘，其特征在于当Ry、Rx为无穷大，θ为π时，圆弧线形抽气沟槽就成为直线形抽气沟槽。