[其他]耐高温抗振型电容压力传感器无效
申请号: | 87209178 | 申请日: | 1987-06-17 |
公开(公告)号: | CN87209178U | 公开(公告)日: | 1987-12-30 |
发明(设计)人: | 王化祥;丁公元 | 申请(专利权)人: | 天津大学 |
主分类号: | G01L9/12 | 分类号: | G01L9/12 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 天津市天津*** | 国省代码: | 天津;12 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 耐高温 抗振型 电容 压力传感器 | ||
1、一种由陶瓷材料制作敏感器件的电容压力传感器,其特征在于敏感器件是由感压膜片(1)和支承底座(2)两部分组成,在平膜片上镀有圆形公共电极(3),在底座上与之相对的平面上镀有圆形电极(4)和环形电极(5),在膜片与底座之间用易熔玻璃封接。
2、根据权利要求1所述的传感器,其特征在于所述的膜片是采用95A1203瓷,底座的材料是采用75A1203瓷。
3、根据权利要求1 所述的传感器,其特征在于形成金属银层电极的底座上用25-40μ的云母片与膜片间隔开、保证电容间隙。
4、根据权利要求1所述的传感器,其特征在于所述的易熔玻璃(6)是选用TF01铅玻璃。
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