[发明专利]高精度位置检测设备无效

专利信息
申请号: 88100070.1 申请日: 1988-01-09
公开(公告)号: CN1021133C 公开(公告)日: 1993-06-09
发明(设计)人: 中村利孝;黑岩昭彦 申请(专利权)人: 株式会社东芝
主分类号: G01P3/44 分类号: G01P3/44;G01P3/00
代理公司: 中国国际贸易促进委员会专利代理部 代理人: 邹光新
地址: 日本神*** 国省代码: 暂无信息
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摘要:
搜索关键词: 高精度 位置 检测 设备
【权利要求书】:

1、一个高精度位置检测设备,包括:

位置检测装置(14,16),用来检测表明作周期和重复运动的物体(10)的位置的位置信号(θ,θA,θB),

其特征在于:

1).联接装置(12,13),用来把所说的物体(10)连接到所说的存在偏心的位置检测装置(14,16),

2).连接偏心检测装置(20,200-210),与所说的位置检测装置(14,16)相连,用来从位置检测信号(θ,θA,QB)中检测与由于联接装置(12,13)连接所引起的偏心相应的偏心信号(△θ,θM)以及

3).真实位置信号合成装置(18,162,164),与所说的位置检测装置(14,16)和所说的联接偏心检测装置(20,200-220)相连,用来把位置信号(θ,θA,θB)与偏心信号(△θ,θM)相组合,以提供一个指示所说物体(10)的真实位置并且不受所说联接装置(12,13)连接偏心影响的真实位置信号(θRT)。

2、根据权利要求1的一个设备,其特征是所说的连接偏心检测装置(20,200-2100)包括:

1).线性函数信号发生器(200),用来检测通过线性近似在所说物体(10)的一个重复运动周期(T)内位置信号(θB)的变化所得到的线性近似信号(ytn),和将这线性近似信号(ytn)变换成一个在连接偏心最小时用线性近似所得到的线性函数信号(PGT或θ),以及

2).偏差检测器(201),用来检测来自所说的位置检测装置(16)的位置信号(θB)相对于线性函数信号(PGT或θ)的偏差,并且输出偏差信号(△θ,θM)。

3、根据权利要求2的一个设备,其特征是所说的线性近似信号(ytn)由连接在所说的物体(10)重复运动周期(T)起点(PS)位置信号(θB)的信号电平(θBS)和在重复运动周期(T)终点(PE)位置信号(θB)的信号电平(θBE)的一条直线所定义。

4、根据权利要求3的一个设备,其特征是由线性函数信号(PGT)所定义的直线并行于由线性近似信号(ytn)所定义的直线,并且这二条直线之间的距离(△P)由下列方程求得:

△P=〔Σt=totI]]>(θtn-ytn)〕/(n-1)

其中△P表示二条平行线(PGT,ytn)之间的距离,n表示在重复运动周期(T)内相同时间段的数目,tO表示起点(PS)的时间t,t1表示终点(PE)的时间t,θtn表示重复运动周期(T)被n等分时在第n次tn的位置信号(θB)的信号电平,而ytn则表示线性近似信号。

5、根据权利要求1的一个设备,其特征是还包括:

速度检测装置(22),用来对来自所说的真实位置信号合成装置(162)的真实位置信号(θRT)。相对于时间微分,并且输出表示所说的物体(10)重复运动速度的速度信号(ωT)。

6、根据权利要求5的一个设备,其特征是所说的连接偏心检测装置(20,200-210)包括:

函数发生器(202),用来把在所说的物体(10)的重复运动周期(T)内位置信号(θA)的变化变换成预定线性函数信号(θ),检测来自所说的位置检测装置(16)的位置信号(θA)相对于预定线性函数信号(θ)的偏差,并且输出偏心信号(△θ,θM)。

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