[发明专利]阴极电弧源离子渗金属技术及设备

权利要求书

1、在真空高温状态下对工件(10)进行等离子渗金属的技术，其特征在于：采用阴极电弧蒸发器(14)作离子渗金属时的蒸发源，离化源和加热源，利用低气压弧光放电产生高密度金属离子流，在工作时阴极电弧蒸发器(14)处于水冷却状态，它产生低气压场致发射型弧光放电，电压范围是16～30V，放电电流范围是50～200A，同时对工件(10)提高负偏压，使其工作负偏压范围在500～2000V内，工作温度范围800～1400℃，提高金属离子到达工件(10)的能量，真空室的工作气压范围是0.00133322-13.3322帕斯卡，以此对被处理工件(10)表面形成渗层。

2、在真空高温状态下对工件（10）进行等离子渗金属的设备，其特征在于：装有一个或多个阴极电弧蒸发器（14），并配置适量的支架（1），机械泵（2）、扩散泵（3）、底盘（4）、真空室（5），观察窗（6）、负偏压源（7）、阴极夹具（8）、绝缘密封件（9）、（13）、进气装置（11）、源极靶材（12）、弧源电源（15）、引弧电极（16）等装置组合形成。