[发明专利]热电变换器及其制造方法

权利要求书

1、一种热电变换器，它包括一薄膜热电变换元件和一放置该元件的高频座；所述热电变换元件由一绝缘材料制成的圆形基底组成，所述基底的一侧有用电阻系数小、汤姆逊系数小的合金材料蒸镀形成的电阻加热带，以及与电阻加热带相连的环形内导体电极和两个扇形外导体电极，基底的另一侧有蒸镀形成的金属薄膜热偶和与热偶引出端相连的两个扇形热偶引出电极；所述高频座由一中心穿通的非磁性金属制底座、两个非磁性金属制扇形中极板、一个车有外螺纹的非磁性金属制压环及一个绝缘介质膜组成，所述底座的一侧有L16型阴性输入端口，另一侧有直径大于薄膜热电变换元件的孔，该孔外端的内壁部分车有供压环拧入的内螺纹，内端底部有一孔径等于热电变换元件外导体电极内径的圆柱形孔穿通到底座另一侧，该孔的侧壁上有一通孔，供中极板联结引线通过，底座内有一由绝缘介质支撑在中心通孔内的非磁性金属制内导体；其特征在于：

在所述薄膜热电变换元件的基底边缘有两个对称于中心的定位孔，在其中心有一通孔。

2、一种如权利要求1所述的热电变换器，其特征在于：所述基底一侧至少形成有6对互相串联并分别对称于基底中心的向内弯曲的热偶。

3、一种如权利要求2所述的热电变换器，其特征在于：所述电阻加热带基本为矩形。

4、一种如权利要求3所述的热电变换器，其特征在于：所述多对热偶的热端均位于与电阻加热带相对应的位置上。

5、一种如权利要求4所述的热电变换器，其特征在于：所述基底形成有热偶的一侧，在中心部位有一环形内导体电极，该电极通过基底中心通孔与基底另一侧的内导体电极相连。

6、一种如权利要求5所述的热电变换器，其特征在于：所述底座中的内导体的内端面与置于底座一侧孔内的中极板的外端面处于一个平面，且该端面上有一直径等于所述薄膜热电变换元件中心通孔直径的螺纹孔。

7、一种如权利要求6所述的热电变换器，其特征在于：所述薄膜热电变换元件与内导体通过一非磁性金属制的内导体销钉达到电连接。

8、一种如权利要求7所述的热电变换器，其特征在于：所述压环内侧有供更换被检表的连接头用的内螺纹。

9、一种热电变换器的制造方法，它包括下列步骤：

（1）用机械加工方法制造出高频座的底座、压环、中极板、绝缘介质膜、内导体、内导体销钉及绝缘材料制的圆形基底;

（2）在清洗好的基底的一侧真空蒸镀上一矩形条状电阻加热带;

（3）在基底另一侧蒸镀上至少6对热偶的一种金属条;

（4）在基底该侧蒸镀热偶的另一种金属条;

（5）在基底该侧蒸镀上金的内导体电极和热偶引出电极;

（6）在基底有加热带的一侧蒸镀形成金的内、外导体电极;

（7）将经过（2）～（6）工序的基底蒸镀有热偶的一侧朝向内地由压环拧入底座而安装在高频座内，其特征在于：

基底两热偶引出电极分别对应于两中极板，绝缘介质膜放在中极板下使之与底座绝缘，内导体销钉穿过薄膜元件中心通孔进入内导体端面上的螺纹孔内。

10、一种如权利要求9所述的热电变换器的制造方法，其特征在于：其中（2）～（6）的蒸镀步骤是利用一种上面加工有所需形状通孔的掩模板作遮蔽而完成的。

11、一种如权利要求9所述的热电变换器的制造方法，其特征在于：所述掩模板是用坡莫合金制备的。