[发明专利]分子真空泵

权利要求书

分子真空泵含有空心定子(1)，在其轴向孔(2)内装有转子(3)，转子与定子之间有阻止气体由排出侧(N)向吸入侧(V)溢流的间隙(4)，在转子外圆柱面(5)上，至少制出一个环形沟(7)，而在转子诸分段(8，9，10，11，12，13)的环形沟(7)之间，制成多个螺旋槽(14)，这些螺旋槽在垂直于螺旋线平面内的截面面积，将在气体吸入侧(V)至排出侧(N)的方向内，从转子的分段(8)至分段(13)逐段减小；本分子真空泵的特点为，含有与环形沟(7)数量相等的固定在定子(1)上的叶片盘(23)，叶片盘的叶片(24)分布于环形沟(7)内，并且与垂直于转子(3)旋转轴的平面成一角度，其倾斜方向与螺旋槽(14)的倾斜方向相反，此外，在每一分?8，9，10，11，12，13)上，螺旋槽(14)的深度(h)沿气体吸入侧(V)至排出侧(N)的走向均匀地减小，而每个环形沟(7)的深度不小于与该环形沟邻接的位于气体吸入侧(V)转子(3)分段(8，9，10，11，12)上的螺旋槽(14)的最小深度；每个叶片盘的孔径(D)和它的厚度要这样选取，使得对着相应环形沟表面的叶片盘(23)的表面与这些环形沟(7)表面间的间隙(L₁，L₂，L₃)，其大小相当于转子(3)和定子(1)之间的间隙。