[发明专利]一种微区敷膜方法与装置

权利要求书

1、一种用于制造微电子产品的微区敷膜方法，其特征在于它的步骤包括：

①将敷料灌入涂敷笔内，

②将涂敷笔固定在由电机带动的升降臂上，

③将待敷膜的微电子产品基片固定在由两个步进马达分别沿X与Y两轴传动平移的微动台上，

④向微处理机输入敷膜程序，

⑤由微处理机按照输入程序通过驱动器启动与关闭各个步进马达与电机，控制涂敷笔在基片上进行敷膜。

2、按照权利要求3所述的敷膜方法，其特征在于，所述步骤③中待敷膜的微电子产品基片是已加工成绝缘栅MOS器件阵列分布的半导体晶片。

3、按照权利要求3或4所述敷膜方法，其特征在于，所述步骤①中在涂敷笔内灌装的敷料是葡萄糖氧化酶的涂敷液。

4、一种用于制造微电子产品的微区敷膜装置，其特征在于，其结构包含：一支固定在由一电机带动的升降臂上并可在一底座上方垂直升降的涂敷笔，一个用于固定微电子产品基片、位于涂敷笔与底座之间并由两个步进马达在一平行于底座的平面上分别沿X与Y两轴传动平移的微动台，以及一台通过驱动器连接升降电机与步进马达的微处理机。

5、按照权利要求1所述的敷膜装置，其特征在于，所述涂敷笔是插入一个插座并经过插座与所述升降臂固定连接的，所述涂敷笔的笔端由插座下方孔口露出，插座上方有一弹簧顶压笔身。