[发明专利]检测有孔罩板的方法无效
申请号: | 88104536.5 | 申请日: | 1988-07-19 |
公开(公告)号: | CN1015764B | 公开(公告)日: | 1992-03-04 |
发明(设计)人: | 巴斯蒂安·简·范当西拉阿;威廉·德克·范阿姆斯特尔 | 申请(专利权)人: | 菲利浦光灯制造公司 |
主分类号: | H01J9/42 | 分类号: | H01J9/42;G01N21/00 |
代理公司: | 中国专利代理有限公司 | 代理人: | 马铁良,曹济洪 |
地址: | 荷兰艾*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 检测 有孔罩板 方法 | ||
1、检测有孔罩板的方法,其特点在于在一个有孔罩板和一个辐射能源之间沿着移动路径产生相对移动;在该移动路径横方向上扫描荫罩板,产生一个与穿过罩板上的孔的辐射能相对应的灰度级信号;从该灰度级信号中得到相应于每个扫描孔最大透射的许多峰信号,并且逐个地将这些峰信号与至少一个标准值进行比较以确定每一扫描孔的透射是否是可接受的。
2、权利要求1的方法,其中荫罩板扫描包含用辐射能光束线性扫描荫罩板的一侧,并且在罩板的另一侧检测辐射能通过罩板孔的灰度级。
3、权利要求2的方法,其中辐射能光束产生一个约为图象元素(象素)大小的光点,光点的面积是预先确定的罩板上小孔面积的一部分。
4、权利要求2中所要求的方法,其中辐射能光束产生一个拉长的光点,其长度相应于罩板中孔的标定长度加上两个邻接孔之间的桥的标定长度,其宽度小于罩板中孔的标定宽度。
5、权利要求1中的方法,其中罩板扫描包含基本上均匀照射罩板的一边,而在罩板的另一边基本上是线性扫描通过孔的受检辐射能量。
6、权利要求5中的方法,其中受检辐射能量的线性扫描用电视摄象机来实现的。
7、权利要求5中的方法,其中受检辐射能线性扫描是通过光敏二极管的线性阵列产生连续时钟输出来实现的。
8、权利要求3-7中任一项的方法,其中通过用电子学方法组合预定的连续的象素阵列的灰度级对检测到的灰度级信号作卷积,结果卷积数据表示罩板各个预定面积的全部灰度级,这些预定面积是罩板面积的一部分。
9、权利要求8中的方法,其中一个阵列中的象素数目可以用电子学方法改变。
10、权利要求8的方法,其中用电子学方法组合其它预定象素阵列的灰度级而产生第二组卷积数据。
11、权利要求1的方法,其中辐射能光束产生一个光点,其大小比荫罩板上孔的标定尺寸要大,并且其中每一个检测到的灰度级信号代表灰度级的一个卷积。这些灰度级出现在既定面积上的多个图象元素(或象素)上,该面积的大小相应于一个孔面积的约数。
12、权利要求11的方法,其中光点灰度级的检测是在一个时间间隔中确定的。该时间间隔相当于光点跨越罩板孔所需时间的约数。
13、权利要求11或12的方法,其中光点的长度相应于荫罩孔的标定长度加上相邻孔之间的桥的高度,光点的宽度大于孔的最大标定宽度。
14、权利要求8或11的方法,其中标准值是由预定数目的卷积数据的峰值取平均而形成的。
15、权利要求8或11的方法,其中标准值是对被比较的峰灰度级前面预定数目的卷积数据的峰值取平均而形成的。
16、权利要求8或11的方法,其中标准值是对被比较的峰灰度级前后预定数目的卷积数据的峰值取平均而形成的。
17、权利要求8或11的方法,其中标准值是通过被比较的峰灰度级周围预定数目的卷积数据的峰值取平均而形成的。
18、权利要求1的方法,其中交替连续获得的峰信号形成各自的子系列,其中在每一子系列中的峰值与各自的标准值相比较。
19、权利要求1的方法,其中标准值或者每一个标准值都是合适的。
20、权利要求1的方法,更进一步包含存储全部峰值并由存储的值确定全部的荫罩透射。
21、权利要求1的方法,其中荫罩板沿着它的移动路径连续运动。
22、权利要求2或11的方法,其中辐射能量光束包括激光光束。
23、检测有孔罩板的设备,包含辐射能量产生装置和辐射能检测装置,该检测装置用于检测通过罩板的辐射能数量(或灰度级),检测装置放在荫罩板相对移动路径的相反的一边,所述辐射能产生装置和检测装置是这样构成和操作的,即能实现横过上述的移动路径的线性扫描;从检测到的灰度级中得到一系列的峰信号的装置和将每个峰信号至少与一个标准值相比较的比较装置;还包括把检测到的灰度级信号的模拟值数字化的装置和通过把预定数量的峰值信号取平均来产生至少一个标准值的装置。
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