[发明专利]含氟里昂113废气的处理方法装置

权利要求书

1、含氟里昂113的废气处理方法，其特征在于，将25℃时蒸汽压和粘度分别在7.6×10^-2mmHg以下，500CP以下的饱和矿物油，烷基二苯醚类油，硅油、三氟化氯化乙烯类油，全氟聚醚类油中，至少选一种油作为吸收液，使之与含氟里昂113废气在大气压或加压状态下接触，吸收去除其中所含的氟里昂113后，将吸收了氟里昂113的吸收液减压回收氟里昂113。

2、含氟里昂113的废气处理装置，其特征在于，它具有以下设备：在25℃时蒸汽压及粘度分别在7.6×10^-2mm Hg以下，500CP以下的饱和矿物油、烷基二苯醚类油，硅油，三氟化氯化乙烯类油，全氟聚醚类油中，至少选一种油作为吸收液，使上述吸收液与含氟里昂113的废气接触的吸收塔，和将吸收了氟里昂113的上述吸收塔的液体保持在减压状态并使氟里昂113发散的发散塔、以及将发散塔保持在减压状态的干真空泵、和使干真空泵排出气体冷凝且回收氟里昂113的凝结器，以及使上述发散塔的氟里昂113发散的吸收液循环到上述吸收塔中去的手段。

3、含氟里昂113的废气处理装置，其特征在于，它具有以下设备：在25℃时蒸汽压及粘度分别在7.6×10^-2mm Hg以下，500CP以下的饱和矿物油、烷基二苯醚类油，硅油，三氟化氯化乙烯类油，全氟聚醚类油中，至少选一种油作为吸收液，使用压缩机压缩的含氟里昂113废气和上述吸收液接触保持在加压状态的吸收塔，将在吸收塔中吸收了氟里昂113的吸收液保持在减压状态并使溶存的空气脱气的脱气塔，使脱气塔保持在减状态的真空泵，将该真空泵的排气在上述压缩机的含氟里昂使氟里昂113分解从而有可能进行回收。

本发明是基于上述发现而做出的，目的是提供将废气中的氟里昂113去除到可向大气排放的程度，并且不使氟里昂113变质而进行回收的含氟里昂废气的处理方法及装置。

本发明是为达到上述目的而做出的，其要旨是在25℃时的蒸汽压及粘度分别为7.6×10^-2mmHg以下，500CP（厘泊）以下的饱和矿物油、烷基二苯醚类油、硅油、三氟化氯化乙烯类油、全氟聚醚类油中至少选一种作为吸收液，在大气压或加压状态下使其与含氟里昂113的废气接触，将其中所含的氟里昂113吸取后，将吸收了氟里昂113的吸收液减压并回收氟里昂113。在本发明装置中具有：25℃时的蒸汽压和粘度分别为7.6×10^-2mmHg以下，500cp以下的饱和矿物油、烷基二苯醚类油、硅油、三氟化氯化乙烯类油、全氟聚醚类油中至少选择一种作为吸收液，使上述吸收液和含氟里昂113的废气接触的吸收塔、将吸收了氟里昂113的上述吸收塔的液体保持在减压状态下使氟里昂113发散的发散塔，将发散塔保持在减压状态的干真空泵、使干真空泵排出气体冷凝且回收氟里昂113的凝聚器以及将发散了上述发散塔之氟里昂113的吸收液循环至上述吸收塔的手段。

在加压下进行吸收的装置中有如下设备：在用压缩机最好是无油压缩机压缩的含氟里昂113度气和上述吸收液接触的加压状态中保持的吸收塔，在吸收塔中将吸收了氟里昂113的吸收液保持在减压状态并使溶存的空气及少量的氟里昂113脱气的脱气塔，将脱气塔保持在减压状态的真空泵，使该真空泵的排气在上述压缩机的含氟里昂113气体吸收侧进行合流的配管，将上述脱气塔脱气的吸收液加热的加热器，将通过该加热器加热的吸收液保持在减压状态并使氟里昂113发散的发散塔，使该发散塔保持在减压状态的干真空泵，将该干真空泵排气冷凝并回收氟里昂113的凝结器，以及将发散了上述发散塔之氟里昂113的吸收液通过冷却器循环到上述吸113气体的吸引侧合流的配塔，将上述经脱气塔脱气的吸收液加热的加热器，将通过该加热器加热的吸收液保持在减压状态并使氟里昂113发散的发散塔，使该发散塔保持在减压状态的干真空泵，将该真空泵的排气冷凝并回收氟里昂113的凝结器，以及将上述发散塔放出了氟里昂113的吸收液，通过冷却器循环到上述吸收塔的循环配管。