[发明专利]曝光装置

说明书

本发明涉及使用短电弧汞汽灯作为曝光源的、用于生成彩色阴极射线管的荧光屏的曝光装置。

如在日本专利审定公告第47-31264号中所公开的，过去，曾经使用聚光灯源装置（其中，从一种线状或杆状光源中获得二次光源）作为生成彩色阴极射线管的荧光屏的曝光装置，而用甚高压汞汽灯作为一次光源。

日本专利审定公告第43-28553号提出一种使用所谓短电弧（电极加载）型甚高压汞汽灯的曝光装置，在该汞汽灯中，把阴极和阳极面对面地配置在充满汞汽的椭圆形灯泡中。

用于曝光装置中的这种短电弧汞汽灯具有以下问题。虽然，所要求的曝光准确度（汞汽灯的电弧中心相对于面板中心轴间容许的偏离量）通常是大约0.1mm，但是，汞汽灯阴极发射端的消耗率在直到约100个小时的初始点燃期间按0.1mm/24小时变化，接着，在约100小时后，按0.02mm/24小时变化。结果，汞汽灯的电弧长度单方向增长，因而，使各个荧光点的位置出现误差，对荧光点在面板的荧光屏上的排列产生不利的影响。

为了解决这些问题，迄今只是由操作人员透过装在容纳着短电弧汞汽灯的灯箱里的瞄准器进行观察，他手动地操纵测微器头以完成汞汽灯的精细对中，从而校正电弧中心的曝光准确度。然而，上述调整需要很长的时间周期。

因此，本发明的目的是提供一种使用短电弧汞汽灯、用于生成彩色阴极射线管的荧光屏的曝光装置，在该装置中，能够使电弧中心的位置自动地对中并保持在所需要的曝光精度范围内，用于校正点燃过程中汞汽灯电弧中心位置的变化。

为达到以上和其他的目的，按照本发明，提供一种使用短电弧汞汽灯的曝光装置，该装置备有一种驱动装置，后者使短电弧汞汽灯的电弧中心与其位置变化量相一致地朝着面板的中心轴移动。

在本发明中，在电弧中心位移期间，所述驱动装置自动地使短电弧汞汽灯对中，因此，可以把面板中心轴与电弧中心之间的偏离量保持在预定的曝光准确度之内。

因此，在校正短电弧汞汽灯电弧中心的变化方面，已不需要手动的对中操作。从而，不仅生产率而且曝光准确度都得到了改善，以致有可能防止出现不合格的产品，并且排除各个产品之间在性能上的差异。结果，能够获得多方面的极好的效果，例如产品质量的改进。

本发明上述的和其他的目的、特征和优点，通过下面最佳实施例的说明，结合参考附图将一清二楚。

图1是本发明的曝光装置的一个实施例的示意性剖面图（为简便起见省略了某些部分）;

图2用图解法表示按图1箭头A方向经由瞄准器所观察到的观察区;

图3是用于指示电弧中心位置的组合式PIN光电二极管的示意性前视立视图;

图4A表示在图3中所示光电二极管上电弧光点的水平偏离;

图4B是与图4A相似的图，但它表示在国3中所示光电二极管上电弧光点的垂直偏离;以及

图5是用于控制脉冲电动机驱动、导致短电弧汞汽灯位移的控制电路的线路图。

下面将参考各附图对本发明的各最佳实施例作详细的描述。

参照图1，该图是本发明的曝光装置的一个最佳实施例的示意性剖面图，图中示出用于在彩色阴极射线管的面板内表面上形成荧光屏的曝光装置。如实例所示，灯箱1的前空间构成小室1a，在小室1a中配置了短电弧汞汽灯2和汞汽灯支架3。短电弧汞汽灯2包括作为对电极的阳极2a、作为电子发射电极的阴极2b、以及近似球形的管泡2c，并且，阳极2a和阴极2b彼此在垂直方向上对置在充满汞汽的管泡2c中。汞汽灯2的一端支撑在汞汽灯支架3上。后小室1b与前小室1a构成灯箱1的整体。在后小室1b中，由X-Y-Z（三个方位的）台架（可移动式基座）4支承住汞汽灯支架的另一端，以及在汞汽灯2的中心轴（Z轴）上配置了瞄准器5。借助位于后小室1b下方部位的测微器头7和联轴节8，使脉冲电机6同X-Y-Z台架4结合，所述电机6适应于使X-Y-Z台架4沿X、Y和Z中任一轴线移动。然而，在图示实例中，为了便于说明起见，脉冲电机6、测微器头7以及联轴节8被安排成使X-Y-Z台架4沿Y轴移动。在灯箱1的前面，配置有在其内层表面涂上光敏薄膜的面板9，图上虽未予示出，但实际上在面板9与灯壳体1之间还插入有校正透镜和滤光器。装有荫罩板10的面板9处于这样的位置：其中心轴线与瞄准器5的轴线重合。标号11表示从短弧汞汽灯2辐射出的紫外线。

图2是以图1箭头A所指示的方向经由瞄准器所观察到的目视区域的例图。经由瞄准器5，以光的形式传送出在短电弧汞汽灯2中垂直方向上彼此对立着的阳极2a和阴极2b的倒转的目视图象。