[发明专利]六点接触式平面度高精度测量方法及装置无效
| 申请号： | 88104989.1 | 申请日： | 1988-08-18 |
| 公开（公告）号： | CN1011541B | 公开（公告）日： | 1991-02-06 |
| 发明（设计）人： | 刘兴占;梁晋文 | 申请（专利权）人： | 清华大学 |
| 主分类号： | G01B7/34 | 分类号： | G01B7/34;G01B11/30 |
| 代理公司： | 清华大学专利事务所 | 代理人： | 章瑞溥 |
| 地址： | 北京市海*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 点接触 平面 高精度 测量方法 装置 | ||
【权利要求书】：
1、一种平面度测量方法，其特征是测头布置成两排，每排三个测头，其中第一排连续布置两个固定测头，第二排中间位置布置一个固定测头，其他位置分别布置三个动测头，测头之间的距离为等距，测量时将被测平面按需要测量的点距分成N行，M列，且M为偶数，测量前将动测头的读数调为“零”，第一次测量从第一行第一列的交点开始，读出三个动测头的读数，然后将测量装置向右移动一个测量点距，读出动测头新的读数，如此依次测至被测面的边缘，然后以第二排的固定测头为圆心，将测量装置旋转90°，即可读出动测头的新的读数，然后再移动测量装置，如上法依次读出动测头的读数，直至测量装置测完整个被测面，然后将所测的各点数据按通式求出其归化值，再以此计算出平面度大小或直线度大小。
2、一种由固定测头，动测头，底盘组成的接触式测量装置，其特征是在底盘上将测头布置成两排，每排三个测头，其中第一排连续布置两个固定测头，第二排中间布置一个固定测头，其他位置分别布置三个动测头，测头之间的距离为等距。
3、按权利要求2所说的测量装置，其特征是动测头是接触式的。
4、按权利要求2所说的测量装置，其特征是动测头是非接触式的。
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