[发明专利]平面度误差分离法及实时测量仪

权利要求书

1、一种平面度误差分离测量方法，采用五个测头同时测量，其特征在于，所说的五个测头按两个方向排列，同一方向相邻两个测头之间距离相等并且等于该方向上测量间距，以保证各测头的测量点重合，所说的测头测得数据经过A/D转换器输入微处理机，按予先编制的消除误差程序及平面度计算程序进行处理后实时显示出结果，测量步骤如下：

(1)使各测头与被测元件表面接触，微调各测头使读数为零；

(2)启动微处理机，并使所说的被测工件按测头排列的一个方向运动；

(3)使光电元件发出一个脉冲，使计算机按测量间距采样；

(4)所说工件运动一个周期后，所说光电工件再发出一个脉冲，使计算机停止采样；

(5)使所说各测头按排列的另一方向移动一个间距，再按所说步骤3、4采集第二组数据，直到所说工件整个表面采样完成。

2、如权利要求1所述的平面度误差分离测量方法，其特征在于所说的五个测头是按同半径与同圆周二个方向分布，其中在圆周方向分布的测头之间的距离为l₁，在半径方向上的测头之间的距离为l₂;所说测头中的一个位于两个方向的交点上，并置于与被测工件旋转中心相距R₁处，所说的五个测头同时测量步骤如下：

（1）使各测头与被测元件表面接触，微调各测头使读数为零;

（2）启动微处理机，并使所说的被测工件绕其旋转中心转动;

（3）使光电元件发出一个脉冲，使计算机按测量间距l₁采样;

（4）所说工件转动一圈后，所说光电工件再发出一个脉冲，使计算机停止采样;

（5）使所说各测头按所说被测工件径向移动l₂距离，再按所说步骤3、4采集第二圈数据，直到所说工件整个表面采样完成。

3、如权利要求1所述的平面度误差分离测量方法，其特征在于所说的五个测头是按纵向与横向二个方向分布，其中一测点位于两个方向的交点上。

4、一种如权利要求1所述方法的实时平面度测量仪，包括五个测头及用于固定五测头的夹具、直流放大器、A/D转换器、光电开关、放大整形电路、微处理机等部件组成，其特征在于所说的固定在一个夹具上的五个测头，按两个方向排列，同一方向相邻两测头之间距离相等并且等于该方向上的测量间距，所说的光电开关由光栏、光源及光电元件组成，该光栏固定在被测工件外侧，该光源与光电元件分别置于光栏两侧，所说的各测头为接触式电感传感器，该传感器与电感测微仪连接，所测数据经直流放大器、A/D转换器输入微处理机，所说光电开关对测头采样进行控制并通过所说的放大整形电路与所说的A/D转换器及所说的微处理机连接。