[发明专利]以测量金属丝电极偏转度的光电传感器为特征的电蚀机

权利要求书

1、一种以测量金属丝电极偏转度的光电传感器为特征的电蚀机，它包括有一走丝电极(9)和一测定走丝电电极偏转度用的光学测量装置，该测量装置有一光源(10)、一传感器组合件(1，11)和一鉴定电路(12)，传感器组合件用以测定来自光源(10)且为走丝电极(9)所遮住的光束(32)，鉴定电路(12)则电连接到所述传感器组合件，

其特征在于传感器组合件(1、11)的有效光吸收表面具有呈三角形的严格单调变化的几何形状，使得所述传感器组合件吸收与走丝电极的相对位置具有一对一的对应关系的光量。

2、如权利要求1所述的电蚀机，其特征在于，所述传感器组合件（1）的有效的光吸收表面具有严格单调变化的几何形状。

3、如权利要求2所述的电蚀机，其特征在于，所述传感器组合件（1）的光吸收表面呈三角形。

4、如权利要求1所述的电蚀机，其特征在于，所述传感器组合件（1）包括多个传感器元件（2，11;25，33;38，39）。

5、如权利要求3所述的电蚀机，其特征在于，传感器元件（2，25）的输出信号系用光学方法加起来以形成总的信号。

6、如权利要求4所述的电蚀机，其特征在于，各传感器元件（2，11;25，33;38，39）包括一光电变换器元件（11），且鉴定电路（14-16）包括加法电路（14，15），用于为光电变换器元件（11）的输出信号产生一代表走丝电极（9）的相对位置的信号。

7、如权利要求1所述的电蚀机，其特征在于，光源（10）发出平行均匀的光束（32），并将走丝电极的阴影投射到传感器组合件（1）的有效光吸收表面上。

8、如权利要求1所述的电蚀机，其特征在于，设置有多个其尺寸小于走丝电极（9）的阴影（8）的宽度的光电传感器元件（2），并且光电传感器元件（2，11）系这样配置，使得与一部分传感器组合件（1）在测量方向（X）上的位置相关的一系列传感器元件（2，11）与垂直于测量方向（X）且在测量方向上有一给定长度的所述部分相联。

9、如权利要求8所述的电机，其特征在于，所述传感器组合件（1）在其整个表面的每单位面积上包括有基本上恒定数目的传感器元件（2，11），且与测量方向（X）垂直的传感器组合件（1）的宽度取决于其在测量方向上的位置。

10、如权利要求8所述的电蚀机，其特征在于，每单位面积上传感器元件（2，11）的数目取决于其在测量方向（X）上的位置。

11、如权利要求8所述的电蚀机，其特征在于，所述传感器组合件（1）包括两组（6，7）传感器元件（2，11），该两组传感器元件以这样一种方式配置，使得垂直于测量方向（X）且在测量方向上具有给定长度的第一组（6）的一部分包括一系列与该部分在测量方向（X）上的位置具有某种相关关系的传感器元件，并且，垂直于测量方向（X）且在测量方向具有给定长度第二组（7）的一部分包括一系列与该部分在测量方向（X）上的位置具有与所述某种相关关系相反的相关关系的传感器元件（2，11）。

12、如权利要求11所述的电蚀机，其特征在于，各组（6，7）所具有的传感器元件（2，11）呈三角形区域，且两三角形区域彼此方向相反地排列。

13、如权利要求8所述的电蚀机，其特征在于，各传感器元件包括光导纤维（2）和光电变换器元件（11），光导纤维（2）面对着走丝电极（9）的各端部固定在导向元件（3）上，由导向元件（3）将所述光导纤维（2）固定在基本上彼此平行的位置上，且光电变换元件（11）系连接至光导纤维（2）的另一端。

14、如权利要求13所述的电蚀机，其特征在于，所述光电变换器元件是光电二极管（11）。

15、如权利要求12所述的电蚀机，其特征在于，所述鉴定电路（12）包括加法电路（14，15）和一减法电路（16），各加法电路（14，15）分别将一组（6，7）的相应各个传感器元件（2，11）的输出信号相加，减法电路（16）则产生表示走丝电极（9）的相对位置并表示加法电路（14，15）的输出信号之间的差值的电信号。