[发明专利]形成超导氧化物材料的方法和装置无效
申请号: | 88107276.1 | 申请日: | 1988-09-16 |
公开(公告)号: | CN1016388B | 公开(公告)日: | 1992-04-22 |
发明(设计)人: | 山崎舜平 | 申请(专利权)人: | 株式会社半导体能源研究所 |
主分类号: | H01B12/00 | 分类号: | H01B12/00;H01L39/24;H01L39/12 |
代理公司: | 中国专利代理有限公司 | 代理人: | 肖掬昌,肖春京 |
地址: | 日本神*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 形成 超导 氧化物 材料 方法 装置 | ||
1、一种在基片上形成氧化铜超导材料的方法,包括下列步骤:
将一基片放置在一反应室中;
将氧气或氧化气体和一反应气体、反应微细颗粒或包括母体材料的反应流体输入所说反应室中,以形成氧化铜超导材料;
将电磁能量输入所说反应室中,以便激活所说反应气体、反应颗粒或反应流体;以及
在所说基片上形成所说氧化铜超导材料,
其特征在于,将一磁场以一基本平行于或垂直于所说基片的一个表面的方向加到所说基片,以使所说材料的晶体结构按所说方向排齐。
2、根据权利要求1所述的方法,其特征在于,该超导材料以下列总化学式表示:
式中0.1<x<1,22.0<y<4.0,1.0<z<4.0和4.0<w<10.0;A是由Y、Gd、Yb、Eu、Tb、Dy、Br、Tm、Lu、Su和其他镧系元素组成的族中选出的一种或一种以上的元素;B是由Ba、Sr和Ca组成的族中选出的一种或一种以上的元素,此处所述反应气体选自(a)包括稀土元素、碱土元素和超导氧化物材料铜元素的烷基化的或囟化的化合物;(b)包括稀土元素、碱土元素和铜元素的中和铵盐产物;以及(c)包含来自周期表Ⅱa族和Ⅲa族的元素和铜的细幼粉状成分。
3、根据权利要求1所述方法,其特征在于,该超导材料由下列总化学式表示:
式中A是由周期表Ⅴb中,例如As、Sb和B中的一种或一种以上的元素;B是由Be、Mg、Ca、Sr、Ba和Ra组成的族中选出的一种或一种以上的元素;以及0.3<x<1,2.0<y<4.0,1.0<z<4.0和4.0<w<10.0。
4、根据权利要求1所述的方法,其特征在于,所说磁场强度至少为0.1忒斯拉。
5、根据权利要求1所述的方法,其特征在于电磁能量是微波。
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