[发明专利]激光加工制造过滤器的方法及实现该方法的装置

权利要求书

1、一种激光加工制造过滤器的方法，其中为了形成切割腔是将激光束(5)和工作气体流射在另件(1)的被加工表面上的，上述激光要聚焦成焦斑，而被加工的另件(1)要相对此激光束(5)移动，其特征在于：焦斑在另件(1)中所处的深度距其表面为h₁，这时需满足0.025≤ (h₁)/(h) ＜0.22

其中h为另件的厚度，在切割腔中熔融金属体积起伏幅度达到最大时，周期性间歇地将研磨用的微粒(7)添加到上述工作气体流中。

2、一种如权利要求1所述的方法，其特征在于：在上述激光作用之前，要将吸收涂料（3）涂敷在另件（1）的被加工表面上，涂敷的宽度等于激光焦斑的直径，而厚度为5～20微米。

3、一种实现权利要求2所述激光加工制造过滤器方法用的装置，包括激光器、带有激光聚焦用的光学系统（10）的管接头（9）、驱动被加工另件做直线及径向移动的驱动器（11），以及直接靠近上述带有激光聚焦用的光学系统的管接头（9）的将工作气体供给加工区的喷射器（12），其特征在于：它还包括一个与上述带有激光聚焦光学系统（10）的管接头（9）固定在一起，并有可能绕上述管接头（9）轴线转动的控制吸收涂料流动速率用的机构（2），其在切割过程中的设置，应使该控制机构（2）的输出毛细管孔（18）的中心与使激光聚焦用的上述光学系统（10）的光轴位于同一平面内，使用供给工作气体的喷射器（12），以引进研磨微粒（7）。

4、一种如权利要求3所述的装置，其特征在于：它包括有多相振荡器（15），而上述控制吸收涂料（3）流动速率用的机构（2），做成圆柱形容器形式，带有彼此牢固地联结在一起的压电陶瓷片（14）的管形组件，其中的每个压电陶瓷片（14）都与上述多相振荡器（15）的输出端串联。