[发明专利]压力传感器及其制造方法

权利要求书

1、一种压力传感器，包括：

包含有一个压力传感装置(22)的半导体压模(21)，其中所述的压力传感装置暴露在所述的压模的表面上；

具有相对的第一端部和第二端部的玻璃元件(16)，其中所述的第一端部与所述的半导体压模适当粘接以使其第一端部环绕着处在半导体压模表面上的压力传感装置，

具有焊流可浸润区(19)的金属元件(11)，其中所述的焊料可浸润区靠近所述的第二端部时，该区域将至少基本上覆盖住玻璃第二端部的表面，

处在所述的第二端部和焊料可浸润区之间的焊接连接物(20)，其中焊料是对所述的焊接连接提供支撑的唯一的手段，

其特征在于所述的玻璃元件第二端部的整个表面基本上用一种含钛的焊料可浸润材料涂复着，并且焊料形成了可在外界压力大于14磅/平方英寸的条件下使用的强度足够的连接。

2、一种专用于制造如权利要求1所述的压力传感器的方法，包括将所述的玻璃元件（16）的第二端部与所述的金属元件（11）相连接，该金属元件具有焊料可浸润区（19），该区（19）可至少覆盖住玻璃元件要连接这端的表面，在玻璃元件的要连接的该第二端部与金属元件的焊料可浸润区之间有焊料（20），其中焊料是对所述的焊接连接提供支撑的唯一的手段，其特征在于所述的玻璃元件要连接的该第二端的表面用含钛的焊料可浸润材料涂复着，而且焊料形成了可在外界压力大于14磅/平方英寸的条件下使用的强度足够的连接。

3、按照权利要求2的方法，其特征在于在所述的玻璃元件要连接的第二端部和金属元件的焊料可浸润区之间所述的连接厚度在2-3密耳的范围内。

4、按照权利要求2或3的方法，其特征在于所述的焊料可浸润材料还含有铂和金，而所述的焊料可浸润区含有金或镍。

5、按照权利要求2的方法，其特征在于所述的玻璃元件是管形的。