[发明专利]大孔径显微投影物镜光学系统

权利要求书

1、一种大孔径显微物镜光学系统，它由二组镜片组成，前组为三片，后组为四片，其特征是前组焦距f′=2.03g，后组焦距f′=0.661，其中：前组三片的焦距分别为：

f′₁=2.000，f′₂=-2.144

f′₃=2.182

后组四片的焦距分别为：

f′₄=1.420，f′₅=-0.863

f′₆=0.944，f′₇=1.045

前后组中负镜采用高折射率ZF₇玻璃，前组其它二片，后组其它三片分别采用Lak₂和Lak₆玻璃材料，所述系统的各镜片是单片分离的从f₁到f₇镜片设置的次序是“+-++-++”排列，在前组与后组透镜组之间有一个光阑。

2、如权利要求1所述的光学系统，其特征是所采用镜片的厚度和口径之比为1/2-1/10。