[其他]低碳污染SOI石墨加热元件

权利要求书

1、一种用于区熔再结晶SOI的石墨加热元件，由石墨基体和表面复盖层组成，其特征在于严密复盖石墨基体的表面复盖层采用热解石墨涂层。

2、根据权利要求1所述的石墨加热元件，其特征在于石墨基体可采用块状高纯度石墨加工而成，具体形状和尺寸可根据需要来设计，条形石墨加热元件的截面通常为矩形，其高度为厚度的    （1.5～5）倍。

3、根据权利要求1或2所述的石墨加热元件，其特征在于热解石墨涂层可采用化学汽相沉积（CVD）法在石墨基体表面形成，其厚度为5～30μm。

4、根据权利要求3所述的石墨加热元件，其特征在于淀积热解石墨涂层后的石墨加热元件可在2700～3000℃温度下进行热处理。