[发明专利]局部加热装置和局部加热用立体谐振器

权利要求书

1.一种局部加热用立体谐振器，包括电极、通过向该电极供给高频能量，用由此而产生的电磁场对被加热体进行局部加热，其特征在于用导体构成立体谐振器的空腔，通过使空腔的一部份洼下，或用另外的导体构成能使供加热用的电场会聚的内部电极。

2.根据权利要求1所述的立体谐振器，其特征在于设置两个成面对面配置的内部电极，在此电极间插入被加热体。

3.根据权利要求1所述的立体谐振器，其特征在于所述空腔为圆筒状的空腔12，通过空腔12的端面设置内部电极。

4.根据权利要求1所述的立体谐振器，其特征在于在空腔12上设置一个为将被加热体10搬进、搬出用的出、入口。

5.根据权利要求1所述的立体谐振器，其特征在于将上述内部电极中的一个电极面构成为电场分布可变的构造。

6.根据权利要求1所述的立体谐振器，其特征在于在构成空腔12的导体的一部分上设置一个用于对内部电极13形成的电场分布进行调整的电声分布调整孔。

7.根据权利要求1所述的立体谐振器，其特征在于在空腔12内设置至少一个用于对由内部电极13形成的电场分布进行调整的电场分布调整构件。

8.根据权利要求1所述的立体谐振器，其特征在于使上述构成空腔12的导体的一部分可以移动。

9.根据权利要求1所述的立体谐振器，其特征在于把由导体构成的一个内部电极构成使其电极表面的位置为可变。

10.根据权利要求1所述的立体谐振器，其特征在于将所述一个内部电极的电极表面用绝缘构件24进行覆盖。

11.根据权利要求1所述的立体谐振器，其特征在于在空腔12上将一个对谐振频率进行调整用的频率调整构件21插入安装在空腔12内。

12.一种局部加热装置，包括局部加热用立体谐振器，和向此立体谐振器供给高频能量的高频电源装置30，载放被加热体10的载放台71及其回转机构70，其特征在于所述的立体谐振器为上述权利要求1所述的局部加热用立体谐振器。

13.根据权利要求12所述的装置，其特征在于还包括检测出立体谐振器的谐振状态的谐振状态检测装置40，根据检测出的谐振状态，将频率调整构件21的位置调整到可获得最佳谐振状态位置的位置控制装置50。

14.根据权利要求12或所述的局部加热装置，其特征在于使上述高频电源装置30所发生的高频能量的频率为可变化。

15.根据权利要求12所述的局部加热装置，其特征在于在空腔12内设置一个为把向被加热体10的加热部分以外的部分泄漏的电场屏蔽住的屏蔽构件23。

16.根据权利要求12所述的局部加热装置，其特征在于在内部电极13上设置冷却构件25和向此冷却构件25供给冷却水的冷却装置60。

17.根据权利要求12所述的局部加热装置，其特征在于在一个内部电极13和被加热体10之间插入形成低损耗间隙的构件26。

18.根据权利要求12所述的局部加热装置，其特征在于在构成空腔12的导体上，设置一个供安装导体用带有可以开、关盖27的窗17。