[发明专利]主要用于电子显微镜的电子枪组件

说明书

本发明涉及主要用于电子显微镜的电子枪组件。它由一个设置在文纳尔圆柱电极（Wehnelt    cylinder）里的阳极与一个和阴极相对地设置且带有一个中心孔的阳极构成。

电子显微镜的电子枪在结构上通常带有一个以电绝缘材料制成的管形的高压真空衬套，其一端连接到电子显微镜柱身外罩，另一端连接到实际的电子枪上。电子枪的另一种已知的结构是带有以电绝缘材料制成的板形的高压真空衬套，其周边固定到电子显微镜柱身外罩上，而其中央部分设置有一个真空密闭的电衬套，实际的电子枪即固定在这里。

上述各已知技术方案的缺点主要是所说电子枪的尺寸太大。采用管形高压电子衬套形式的电子枪其尺寸太长;而采取板形高压电子衬套的电子枪其尺寸太宽。并且，当考虑到防护辐射时，在这些技术方案中的需要采用较笨重的阳极覆盖层，从而更增加了电子枪的重量，对于轻便型电子显微镜来说，这就特别成为一个大缺点。

先有技术的上述缺点，在现在这种主要用于电子显微镜的电子枪组件的技术方案里实际上得到了解决。这种电子枪由一个设置在文纳尔圆柱电极里的阴极，一个与阴极相对地设置并带有一个中心孔的阳极构成。根据本发明，该技术方案的实质在于：所述文纳尔圆柱电极被固定到一个钟形高压真空衬套顶部，该钟形高压衬套以其开端可滑动地安置于阳极体上，在阳极体与高压真空衬套之间的槽口内设置有真空密封装置。在本发明的一个优选实施例里，该槽口制作在阳极体上，在本发明的另一个实施例里，该槽口被设置在高压真空衬套的接触面上。而在本发明的又一个实施例里，在阳极体高出的凸缘部位有一组带内螺纹的孔。这一组孔沿径向按照等角间隔而分布，孔内设置有调节螺钉，调节螺钉的操作端伸出显微镜柱身之外，而螺杆与所述高压真空衬套的外表面相接触。

根据本发明的电子枪组件的主要优点是结构紧凑和重量轻，因而使得这种电子枪特别适用于轻便型电子显微镜。它的另一优点是简化了阳极罩的结构和消除了大直径尺寸密封的要求。

以下根据附图对本发明进行比较详细的说明。这里的附图是根据本发明的电子枪组件的一个优选实施例的局部剖面图。图中，1是钟形高压真空衬套。在衬套的较狭窄的顶部有一个中心孔，文纳尔圆柱电极2在中心孔部位按真空密闭方式而被固定。这里是利用0形圈3而实现这种真空密闭的。高压真空衬套1由其开端上形成的一个底座面坐落在阳极体6内嵌入一槽口5里的真空密封装置4之上。在阳极体6上有一圈高出的凸缘7，在这凸缘部位沿径向等角度间隔分布有一组（最好是3个或4个）带内螺纹的孔8。调节螺钉9埋入孔8内。调节螺钉的操作伸出到显微镜柱身10之外，而螺杆与高压真空衬套1的外表面相接触。阳极罩11就安放在凸缘7之上。高压电缆12与文纳尔圆柱电极2之间具有电气联接。

根据本发明的电子枪组件在工作时，高压通过高压电缆12送进文纳尔圆柱电极2。此高压依靠高压真空衬套1内空间的真空以及高压真空衬套1的内表面而与阳极体6相绝缘。借助于调节螺钉9，使高压真空衬套1在真空密封装置4上与阳极体6的中心孔位置作相对移动，从而实现对电子束的调节作用。

在轻便型电子显微镜中，本发明的结构可得到有利的应用。