[发明专利]空间光调制器

权利要求书

1、一种空间光调制器，它包括：

(a)在基片上的多个象素，上述每一个象素包括一个反射偏转片和一个邻近上述偏转片的寻址电极，其特征在于，上述每个象素还包括一个邻近上述偏转片的着陆电极；上述反射偏转片是在离开上述寻址电极和着陆电极一段距离上支承的一个反射层上形成的，上述偏转片通过在上述反射层里形成的偏转铰链接到上述反射层上；

(b)其中，施加于上述偏转片和上述寻址电极之间的一个电压使上述偏转片向着上述寻址电极偏转，上述着陆电极安置成与向着上述寻址电极偏转的上述偏转片接触而防止上述偏转片接触上述寻址电极；上述偏转片和上述着陆电极基本上为等电位。

2、按照权利要求1所述的空间光调制器，其特征在于：

（a）上述反射层是通过在上述偏转片和上述电极之间存在阱的隔层所支承而离开上述寻址电极和着陆电极一段距离的。

3、按照权利要求2所述的空间光调制器，其特征在于：

（a）上述每一个象素具有两个寻址电极和两个着陆电极。

4、按照权利要求1所述的空间光调制器，其特征在于：

（a）上述反射层通过多个支柱支承着离开上述寻址电极和着陆电极。

5、按照权利要求4所述的空间光调制器，其特征在于：

（a）上述每一个象素具有两个寻址电极和两个着陆电极。

6、一种空间光调制器，包括：

（a）在一层状结构里形成的多个象素;

（b）上述层状结构包括一绝缘衬底，上述衬底上的一隔层，上述隔层上的一导电反射层，以及多个寻址和着陆电极;

（c）每一个象素包括：

ⅰ.一个在上述反射层里形成的、并通过至少一个由上述反射层形成的铰链连接到上述反射层剩余部分的反射偏转单元，

ⅱ.一个在上述隔层中形成的并从上述偏转单元延伸到上述衬底的阱，

ⅲ.一个位于上述衬底上上述阱底部的、并安置成通过静电吸引能使上述偏转单元偏转的第一寻址电极，以及

ⅳ.一个位于上述衬底上上述阱底部的第一着陆电极，上述第一着陆电极安置成当上述偏转单元因上述第一寻址电极的吸引而偏转时能接触上述偏转单元而同时又防止上述偏转单元接触上述寻址电极;上述着陆电极上和上述偏转单元为相同电位。

7、按照权利要求6所述的空间光调制器，其特征在于：

（a）上述偏转单元通过从上述反射层形成的两个铰链连接到上述反射层的剩余部分，上述偏转单元可绕着由上述两个铰链形成的轴旋转而实现偏转。

8、按照权利要求7所述的空间光调制器，其特征在于，上述每一个象素还包括：

（a）一个位于上述衬底上上述阱底部的并安置成使上述偏转单元因静电吸引而沿着与被上述第一寻址电极的吸引而偏转的方向相反的方向偏转的第二寻址电极;以及

（b）一个位于上述衬底上上述阱底部的第二着陆电极，上述第二着陆电极安置成当上述偏转单元因上述第二寻址电极的吸引而偏转到上述衬底时，接触上述偏转单元;上述着陆电极和上述偏转单元等电位。

9、按照权利要求8所述的空间光调制器，其特征在于，上述每一个象素包括：

（a）一个连接在上述偏转单元加着陆电极和上述衬底之间的电压源。

10、按照权利要求6所述的空间光调制器，其特征在于：

（a）上述反射层由第一和第二分层组成，上述每分层是由一种金属制成，以及

（b）上述铰链中至少一个是仅由上述第一分层形成的。

11、一种空间光调制器，包括：

（a）在一层状结构里形成的多个象素;

（b）上述层状结构包括一底层，一在上述底层上的中间层，以及一在上述中间层上的导电反射层;

（C）上述每一个象素包括：

ⅰ.一个在上述反射层上形成的反射偏转单元;

ⅱ.在上述中间层和上述底层之间的、并在上述偏转单元下方延伸的第一和第二寻址电极;

ⅲ.在上述中间层里形成的一个阱，上述阱从上述偏转单元向上述电极延伸;

在上述中间层和上述底层之间，并在上述偏转单元下方延伸的第一和第二着陆区域，与上述偏转单元基本等电位的上述第一和第二着陆区域安置成在上述偏转单元通过上述寻址电极偏转到上述底层时与上述偏转单元接触。