[发明专利]在轧辊表面形成微型图案的方法与设备

权利要求书

1、一种用来在一个滚轧轧辊的表面上形成微型图案的方法，包含以下步骤：

(1)通过将一种抗酸蚀的树脂溶液和吸光媒剂的混合物涂布到滚轧轧辊表面上以在其上形成一层抗酸蚀的树脂薄膜，树脂薄膜的厚度是1到10微米；

(2)用一个激光器将所需图案划出在此树脂薄膜上，并将这样在轧辊表面上划出的图案暴露出来；

(3)然后进行蚀刻以在轧辊表面上形成所需的图案，

其特征在于本方法采用一种能在一个很短的时间内发生一个功率密度非常高的激光脉冲的、具有一个5到100瓦平均输出功率的Q开关钇铝石榴石激光器以将被激光照射过的树脂从轧辊表面上完全去掉以形成具有非常清晰边界的微型图案。

2、一种用来在一个滚轧轧辊的表面上形成微型图案的设备，它含有：

（a）一个用来支撑轧辊并将其转动的轧辊转动装置;

（b）一个用来将树脂状物质涂复的涂复装置;

（c）一个激光绘图装置，它含有一个用来根据一个电信号发生一个脉冲状激光的激光振荡器和一个用来将所述激光导引到轧辊表面并将其聚焦的装置;

（d）一个用来对被所述激光绘图装置加工过的轧辊表面进行蚀刻的蚀刻装置;

（e）一个用来沿轧辊的轴线方向独立地或同时地移动各个所述的涂复装置、激光绘图装置和蚀刻装置的移动装置;

（f）一个图象处理装置，用来制出要形成在轧辊表面上的图案，将图案分成一些点子以形成二进制编码并制出一系列绘图数据;

（g）一个控制装置，用来根据一个从一个探测轧辊转动角度的装置送来的信号和所述绘图数据来指挥所述激光绘图装置的脉冲放射时间;

其特征在于：

所述激光绘图装置配设有一个能在一个很短的时间内发生一个功率非常高的激光脉冲的、具有一个5到100瓦平均输出功率的Q开关钇铝石榴石激光振荡器，一个设置在该激光振荡器内的谐振器反射镜之间的第一光调制器，和一个设置在激光振荡器外面的激光光束路径的半路上的第二光调制器。

3、按权利要求2的设备，其特征在于所述轧辊转动装置配设有一个由一个旋转编码器组成的用来探测轧辊的旋转角度的装置，

控制装置配设有一个根据所述旋转编码器的一个时钟信号来驱动所述第一光调制器的光调制器驱动器，和一个根据一个信号来驱动所述第二光调制器的光调制器驱动器，该信号是从所述时钟信号取出的、相应于结合绘图数据形成所述图象所需的点子的那一部分。

4、按权利要求2或3的设备，其特征在于激光绘图装置配设有一个用来将一个激光光束在激光振荡器与第二光调制器之间分成多根线的装置，以便于根据分开的激光光束的数目配设多个第二光调制器。