[发明专利]氧化铋的化学气相沉积无效
申请号: | 89104552.X | 申请日: | 1989-07-05 |
公开(公告)号: | CN1039625A | 公开(公告)日: | 1990-02-14 |
发明(设计)人: | 乔治·安德鲁·纽曼;卡尔·汉瑞奇·伯劳斯 | 申请(专利权)人: | PPG工业公司 |
主分类号: | C23C16/40 | 分类号: | C23C16/40;C03C17/245 |
代理公司: | 中国国际贸易促进委员会专利代理部 | 代理人: | 段承恩 |
地址: | 美国宾*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 氧化 化学 沉积 | ||
本发明是关于反红外涂层玻璃产品技术,更具体地说,是关于无彩虹色的、高透射率、低辐射率的反红外涂层玻璃产品。
可以通过各种方法使氧化锡之类的透明反红外薄膜沉积在玻璃之类的基体上,所说的各种方法包括将能热分解的化合物施用到加热的表面上的方法。成形透明反红外氧化锡薄膜的有用方法公开于Saunders等人的U.S.Patent No.3,107,177,Gillery的U.S.Patent No.3,677,814和Wagner等人的U.S.Patent No.4,263,335。
厚度约为1000~8000埃的氧化锡膜为特别有效的红外反射层。但是,这一厚度下的薄膜趋向于表现出干涉的效果,即通常称为彩虹色的多种可见颜色。这种干涉效果使这种涂层玻璃对大多数建筑应用不符合美学要求。在比较薄的薄膜中观察不到彩虹色;但是,这些薄膜的红外反射率不足以满足实际应用。同样,在较厚的薄膜中观察不到彩虹色;但是,这些薄膜趋于混浊并且难于均匀沉积。因此,研制了各种掩盖干涉作用的方法。
Stewart的U.S.Patent No.3,710,074公开了一种电加热多层玻璃窗构件,该构件在封闭的表面上具有导电涂层,和具有至少0.7的绝对红外反射率的选择性反射薄膜,以改进该构件的热绝缘性能和减少导电膜的可见彩虹。
Chess等人的U.S.Patent No.4,069,630公开了一种热反射多层釉面窗,该窗包括一个着色的内表面具有反热氧化锡膜的吸热外部玻璃板,和一个内层玻璃板,该板可以是无色玻璃也可以是着色的。这种氧化锡薄膜典型地具有从第一级红到第四级红的干涉色,这种可见的效应可以通过着色的吸热玻璃降低。
Gordon的U.S.Patent Nos.4,187,336;4,206,252和4,308,316公开了透明玻璃窗结构,该结构包括一个具有反红外的第一涂层的玻璃板,其中由该第一涂层引起的虹彩可由具有特殊反射指数和厚度的第二涂层来减少,该第二涂层有至少两个形成反射和折射光线的界面,以干扰惯常的彩虹。
Gordon的U.S.Patent No.4,377,613公开了一种透明窗结构,该窗结构由一种带红外反射材料涂层的玻璃板组成,在其中,惯常的彩虹通过在红外反射涂层下面的一种很薄的涂层系统构造而减少,该涂层系统构造反射和折射光线以干扰惯常的彩虹。
1985年8月23日V.A.Hevery等人的U.S.申请系列号768,922公开另一种在窗构件上掩蔽红外反射膜可见虹彩效应的方法。该方法是通过一种第二层膜的方法掩蔽红外反射膜的可见干涉效应,该第二层膜具有在可见波长范围的均匀反射率,并具有显著高于红外反射膜光反射率的光反射率。为产生一种高透明性、低辐射性的构件,最好选择与反射曲线上第一个最低点相应的红外反射膜厚度。
本发明提供一种通过有机铋涂层反应物特别是芳基铋、烷氧基芳基和链烯基的氧化热解而进行的氧化铋膜化学气相沉淀的方法。
屏蔽可见干涉效应的红外反射薄膜在一种单片薄板上可能是有用的。按照本发明的最好制品是多层釉面玻璃构件,该构件包括至少两层板,最好都是玻璃的。传统的玻璃组份是有效的,尤其是典型浮法线生产的钠-钙-硅玻璃。吸热着色玻璃可以采用,但对高透明的应用来说,最好是透明玻璃。
可对太阳能控制有用的各种红外反射薄膜的成份最好是氧化锡。氧化锡膜可通过各种不同的方法沉积在玻璃表面上,比如热解沉淀、粉末涂层、化学气相沉积和阴极溅射。适宜的方法有Gillery的U.S.Patent Nos.3,677,814和Wagner等人的4,263,335中所述的氟化烷基锡热解、Sopko的U.S.Patent No.3,850,679所述的化学气相沉淀、Wagner的U.S.Patent No.4,325,988和Hevery的No.4,344,986所述的粉末涂层,以及Gillery的U.S.Petent Nos.3,477,936和3,506,556所述的阴极溅射。
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C23C 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆,例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上,例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
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C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的