[发明专利]用于喷镀狭槽的等离子喷枪延伸部无效
申请号: | 89106602.0 | 申请日: | 1989-08-16 |
公开(公告)号: | CN1041506A | 公开(公告)日: | 1990-04-18 |
发明(设计)人: | 威廉·S·威伦;小罗伯特·F·萨维尔;马丁·E·哈克 | 申请(专利权)人: | 珀金-埃尔默公司 |
主分类号: | H05H1/42 | 分类号: | H05H1/42;C23C4/00 |
代理公司: | 上海专利事务所 | 代理人: | 张恒康 |
地址: | 美国康*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 用于 喷镀狭槽 等离子 喷枪 延伸 | ||
1、一种用于喷镀凹入区域内表面的等离子体喷枪;其特征在于,它由下列部分组成:
一阴极部件;
一个与阴极部件及等离子形成气源协同工作的管状阳极,和一个产生从管状阳极流出的等离子流的电弧电源;
一个细长管状延伸部包括一个其间有一从管状阳极向前延伸的轴向等离子管的管状壁,等离子管终止于管状阳极远端的端壁,管状延伸部还含有一个部分由端壁组成的横向等离子管,使等离子流从管状延伸部横向射击,流体冷却剂通道在管壁内且大致沿轴向等离子管长度延伸;
一个第一外部管在靠近横向管处的前方连接于管状延伸部,此第一管与通道内的流体相联通并从冷却剂源接收冷却剂;
处理装置用来处理来自管状延伸部后端的流体冷却剂;
一个粉料注入器配置于靠近横向管的前方,以把喷粉向后喷入射出的等离子流;以及一个与粉料注入器相连的第二外部管,与那里的粉料流联通并从粉料源接收粉料。
2、根据权利要求1所说的等离子喷枪,其特征在于轴向等离子管有一中心轴,第一外部管从相对于此轴的第一方向连接到管状延伸部,第二外部管从近似与第一方向相同的第二方向连接到粉料注入器,横向管的取向适于使等离子流沿一个围绕轴线与第一和第二方向成一角度隔开布置的第三方向射出。
3、根据权利要求1所说的等离子喷枪,其特征在于第一外部管在横向管前连接于管状延伸部。
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