[发明专利]镀有陶瓷薄膜的制品无效

专利信息
申请号: 89107368.X 申请日: 1989-09-13
公开(公告)号: CN1041188A 公开(公告)日: 1990-04-11
发明(设计)人: 山崎舜平;林茂则;广濑直树;石田典也;竹山顺一;佐佐木麻里 申请(专利权)人: 株式会社半导体能源研究所
主分类号: C23C16/26 分类号: C23C16/26;C23C16/34;C23C16/42
代理公司: 中国专利代理有限公司 代理人: 何耀煌,肖掬昌
地址: 日本神*** 国省代码: 暂无信息
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摘要:
搜索关键词: 陶瓷 薄膜 制品
【权利要求书】:

1、一种镀有陶瓷薄膜的制品,其特征在于包括:

从导体和具有导电表面的构件的一类部件中选用的基底构件,

在该基底构件上形成的、其中包含有机物质的涂料,

半透明的陶瓷薄膜。

2、权利要求1的制品,其特征在于:所述陶瓷薄膜是加有卤素元素的碳质薄膜。

3、权利要求1的制品,其特征在于:所述陶瓷薄膜是Si3N4薄膜。

4、权利要求2的制品,其特征在于:所述碳质薄膜具有防水特性和隔水特性中的至少一种特性。

5、一种镀有陶瓷薄膜的制品,其特征在于:该制品用于摩托车、自行车、汽车、船只和飞机一类装置中的、具有暴露于风雨中的涂漆表面的构件。

6、权利要求5的制品,其特征在于:该制品构成车架。

7、权利要求2的制品,其特征在于:所述卤素元素是氟。

8、权利要求2的制品,其特征在于:所述碳质薄膜的固有电阻在1×107至5×1013Ωcm的范围内。

9、一种镀有碳质薄膜的制品包括:

从导体和具有导电表面的构件的一类部件中选用的基底构件,

在该基底构件上形成的、其中包含有机物的涂料,

从由碳或者以碳为主要成分的材料构成的一类薄膜中选用的一种碳质薄膜,

其特征在于:

所述碳质薄膜的固有电阻在1×107至5×1013Ωcm范围内。

10、权利要求9的制品,其特征在于:所述涂料具有至少1×1015Ωcm的固有电阻和绝缘特性。

11、权利要求9的制品,其特征在于:所述碳质薄膜是半透明的。

12、权利要求9的制品,其特征在于:该制品用于摩托车、自行车、汽车、船只和飞机一类装置中的、具有暴露于风雨中的涂漆表面的构件。

13、权利要求9的制品,其特征在于:所述制品构成车架。

14、一种制造镀有碳质薄膜的制品的方法,其特征在于包括以下步骤:

把从导体和具有导电表面的构件的一类部件中选出的基底部件保持在降压气氛中,

把交流和直流偏压加到该基底构件上,

在降压气氛引入含碳气体、以产生等离子体,从而,在构成所述制品的基底构件上生成碳质薄膜,而所述碳质薄膜是从由碳或者以碳为主要成分的材料构成的薄膜选出的。

15、权利要求14的方法,其特征在于:所述基底构件具有凸的和凹的部分,并且,与该基底构件的凹的部分相比,偏置电场更集中在该基底构件的凸的部分上,因而,在该凸的部分上形成较厚的碳质薄膜。

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