[实用新型]万能光切测量仪

说明书

本实用新型涉及一种多用途的万能光切测量仪，属于精密光学测量仪器技术领域。

在我国机械工业出版社出版的光学仪器丛书《光切显微镜和干涉显微镜》一书和农业出版社出版的高等农业院校教材《互换性与技术测量》中，公开了国产XSG型光切显微镜和9J型光切显微镜，它的目的主要是用于测量各类机械零件表面光洁度，也可用于半导体零件测量，测量微小阶梯的高度，如薄膜的厚度等。其结构主要特征是具有两个光管，即照明管和观测管，两管光轴互成90°角，固定在仪器的基座立柱上，利用光学截面法原理测量表面光洁度。它的不足在于缺少多用途的调节机构和必要的辅助附件因而只能测长度，且功能少，加之现有技术光切管内部结构的局限，成像清晰度小，一般成像深度h值最大为0.105mm，故不能适用于多领域的光切技术测量。

本实用新型的目的正是在于避免上述现有技术中的不足之处而提供一种万能光切测量仪。即改进了原双管光切显微镜的整体结构为三管式大、小弧板调整结构，并附有数种必要的辅助附件。使测量景深h值可以得到大幅度提高，适用于多种技术领域的光切测量。

本实用新型的目的可以通过以下措施来达到：一种万能光切测量仪，属于光学测量仪器技术领域；由（图1）基座1、立柱2、支臂9、调焦手轮8、光切管6、光切管开关4、观测显微镜15组成。安装在基座1上的载物工作台3由三层组为一体，即由位于上层，具有刻度分度值的园形旋转盘24、中层的横向工作台17、下层的纵向工作台20组成。在载物工作台3的中部，与底座相连装有横向测微鼓轮18；在底座一侧设有手轮19在另一侧即工作台3的下层装有纵向测微鼓轮16在测量仪载物工作台3上装有可拆卸的万向工作台26（图2），双向顶针架27（图3）、光学分度头28（图4）、V型垫铁及压板29（图5）α角校正夹具30（图6）、内孔测量反射光管31（图8）。支臂9前端呈弧形轨槽，轨槽内装有可滑动的大弧板13；在支臂9的上面依次装有转轴销固螺丝10、大弧板观角镜11、大弧板转动轮12。在大弧板13的一端固定装有观测显微镜15观测显微镜15的上端装有可拆卸    的    测角目镜25，下端设有遮光罩管22；在大弧板13的另一端垂直固定的装一带燕尾弧形槽的小弧板14。小弧板14的燕尾弧形槽中装有两只结构相同可分别滑动的光切管6、7，在光切管7的外套上设有光切投射角α微调螺丝21。在立柱2的下部设有光切管6、7的开关4、5。

所说的万能光切测量仪载物工作台3上可拆卸万向工作台26（图2），具有一自定心三爪卡盘201，卡盘固定销202将其与上辅助工作台203相联；与上辅助工作台203相对应的设有一下辅工作台209，在上下辅助工作台之间的一侧，与底座206相接，装有工作台上层纵向翻转蜗轮付204、蜗轮付转动手轮205；在另一侧装有工作台上层横向翻转蜗轮付211，蜗轮付211转动手轮212、上层转轴210、支柱瓦架207；在上辅助工作台203中部内侧装有平行透射光源213。所说的可拆卸内孔测量反射光管31（图8），是将侧面均具有反光孔的光切反光管70观测反光管71分别垂直装于光切管7和观测显微镜15的下端。光切反光管70、观测反光管71中分别设有二块反光镜7′、15′。观测显微镜15的测角目镜头是可拆换为轮廓比较镜头、摄影机的。装于光切管6、7中半园光栅703为平面半园形光栅，光阑704为一半透光的半椭园形，且斜置于聚光镜708与半园形光栅703之间。光切管6、7的下部装有可拆卸的可调式伸缩遮光罩。

下面结合附图对本实用新型所提出的技术方案作进一步说明：