[实用新型]高压恒温工作台

说明书

本实用新型涉及一种高压恒温工作台，它用于半导体器件在多种温度下的高温性能测试。

现有的半导体器件的高温性能测试多采用烘箱加热方式，测试时，被测器件置于烘箱中央，利用箱内热空气加热器件。由于热源在箱内底部，加热时箱内下部温度高于上部温度，而在停止加热后，箱内上部温度又会高于下部温度，因而，造成箱内温度不均匀性；再者，由于箱内空间较大，加热速度慢，当箱内空气达到设定的温度时，而被测器件本身的温度并没有达到，因而要增加恒温时间，这样造成了测试效率低，能源浪费；另外，由于烘箱不是专用设备，用户买回后需要进行改造，要制作放置器件的架子，箱的后壁要开一个通线的洞，使用极不方便，同时，大量的热量从洞口耗散，更造成箱内温度的不均匀性，耗电量大一般为6－8KW，尽管目前对于平板式大功率器件亦有采用热板式加热测试方法，但是其测试数量一般只是一只器件。

本实用新型的目的在于克服上述现有技术中的不足之处而提供一种热板式高压恒温工作台，它适应于大中小功率的器件，特别是具有多只测试功能和能源节约。

本实用新型的目的可以通过以下措施来实现。

由保温罩和上下热板等组成的高压恒温工作台，其上下热板之间夹持着若干电热丝。热板上均布着若干安置被测器件的沉孔。在保温罩上与热板沉孔相对的位置上均布着若干触头。每个触头与步进选择器的触头分别接触，热板与测试仪可直接相连。

附图的图面说明如下：

图1为本实用新型的外观结构图；

图2为本实用新型的右视图；

图3为本实用新型    的俯视图；

图4为本实用新型的电原理图。

下面将结合附图所示实施例对本实用新型作进一步详述。

其内装着全部电气装置的机架（1）上安置着高压恒温工作台，该工作台由保温罩（18）和上下热板（10）（27）等组成，保温罩（18）可绕置于道杆（20）上的铰链（35）掀动。上下热板（10）（27）之间夹持着套有石英管（8）的若干电热丝（7）。上热板（10）上均布着若干安置被测器件的沉孔（37）。热板（10）（27）与测试仪可直接相连。保温罩（18）上与热板沉孔（37）相对的位置上均布着若干触头（11）。每个触头（11）与步进选择器的触头分别端相连。温度传感器（26）置入上热板（10）的体内。测试时，先将被测器件逐一旋入沉孔（37）内，盖上保温罩（18），由于每个触头（11）上的弹簧（17）作用，使每个触头（11）紧压在被测器件的另一端。热板（10）（27）加热时，被测器件被加热，步进选择器转换选择测试每个器件。

由于本实用新型采用了热板方式加热，而且可以多只同时加热，所以它具有升温快，恒温精确，而且温度均匀的优点，提高了元器件的测试精度和测试效率，节约了能源，用户使用亦极其方便。如果连续使用，在开始加热时功率为5.4KW，只用15分钟左右即可，而后面的加热功率只有1.35KW。