[实用新型]微机化干涉扫描微位移测量仪

权利要求书

1、一种微机化干涉扫描微位移测量仪，它由机械系统、光电系统、测量显示系统组成，其中：

(1)机械系统有平行弹簧导轨(15)，中心测杆(16)。

(2)光电系统有激光器(1)，压电陶瓷(9)，法布里·白洛干涉仪(10，11)。

(3)测量显示系统有放大器(21)，接口(22)。

其特征在于：来自激光器(1)的光束经过光准直系统、分光偏角系统后进入法布里·白洛干涉仪(10，11)，然后该光束穿过聚光镜(13)，射到反射镜(14)上；压电陶瓷(9)与干涉仪的上腔片(10)相连，由压电扫描非线性补偿装置驱动；聚光镜(13)、法布里·白洛干涉仪的下腔片(11)与测杆(16)刚性连接成仪器中的可移动部件，光导纤维(20)置于光电转换器(26)的前部，微机(28)经模数转换器(22)，放大器(21)与光电转换器(26)连接。

2、根据权利要求1规定的微位移测量仪，其特征在于所述光束经分光偏角系统后，分成（A，b，c）三束光并同时进入一个法布里·白洛干涉仪（10，11）。

3、根据权利要求1规定的微位移测量仪，其特征在于所说的分光偏角系统有分光镜（6Ⅰ或6Ⅱ）和左、右楔形镜（7，8）组成，分光镜（6Ⅰ或6Ⅱ）具有二个分光面，楔形镜（7，8）有不同的楔角。

4、根据权利要求1规定的微位移测量仪，其特征在于所说的压电扫描非线性补偿装置有微机（28）控制的扫描波形数模转换器（23）和波形放大器（24）组成。

5、根据权利要求1规定的微位移测量仪，其特征在于所说的光准直系统有平面分光镜（2），分光对准板（4）和观察窗（3）组成，其中平面分光镜（2）的平面与激光光束成45°角，分光对准板（4）与激光光束精确垂直。

6、根据权利要求1规定的微位移测量仪，其特征在于所说的仪器中可移动部件为全微膨胀合金结构。