[实用新型]微分式气体静力密封器

权利要求书

1、微分式气体静力密封器，由卡环(5)，顶紧螺钉(6)，防松螺母(7)，压紧垫环(8)，螺钉(9)，弹簧垫圈(10)，压紧环(11)，外座圈垫环(13)，平板密封环(14)和密封垫(16)组成，其特征在于在密封箱(12)内，有数个由内座圈(3)，波形密封圈(2)，外座圈(1)依序叠放而成的平衡室，在各平衡室的顶部开有平衡气源孔(17)。

2、根据权利要求1所述的分级减压式气体静力密封装置，其特征在于在各平衡气源孔上接有由气源导管，压力调节伐（15）和气源组成的气源平衡系统。

3、根据权利要求1所述的分级减压式气体静力密封装置，其特征在于波形密封圈（2）是由弹性材料制成。