[实用新型]区熔单晶炉单晶硅棒夹持机构

权利要求书

1、一种区熔单晶炉单晶硅棒夹持机构，具有装在夹持器斜孔内的金属销构成的夹持元件，其特征为：夹持体(2)具有三个均布对称的斜孔，孔内插有夹持棒(1)，夹持棒由支持块(4)托住，支持块用螺钉连接于夹持环(5)上，拨叉(6)焊接于夹持环上，在支持块的下方是支持柱(3)，整个夹持机构与真空炉室上、下轴、加热线圈同轴安装于炉室内。

2、如权利要求1所述的夹持机构，其特征为：

a、夹持体（2）的上端平面安装时离高频加热线圈下端平面的距离为60～100mm；

b、夹持体（2）的内部制成中空并焊有二块对称的隔水板，其内腔上、下部相通；

c、夹持体插夹持棒（1）的斜孔中心线与夹持体  的轴心线夹角为5°～45°。

3、如权利要求1所述的夹持机构，其特征为：夹持体（2）、夹持环（5）、支持块（4）、支持柱（3）用普通耐酸不锈钢Cr18Ni9Ti、Cr18Ni9制成。

4、如权利要求1所述的夹持机构，其特征为：

a、夹持棒（1）用有色金属钛、钼制成；

b、夹持棒（1）制成等径的中空圆柱体；

c、夹持棒（1）制成等径的中空圆柱体；

5、如权利要求1、3所述的夹持机构，其特征为夹持环（5）由二只半圆环组成，通过调节螺钉（7）紧固连接。

6、如权利要求1、3所述的夹持机构，其特征为：

a、支持柱（3）的端头制成球面；

b、支持柱（3）的端头制成阶梯形。