[实用新型]6,5微米红外长波通滤光器无效
| 申请号： | 89216672.X | 申请日： | 1989-09-06 |
| 公开（公告）号： | CN2052908U | 公开（公告）日： | 1990-02-14 |
| 发明（设计）人： | 许士荣;张文德;严义埙;张凤山;许步云;朱龄心;曹永良;徐青 | 申请（专利权）人： | 中国科学院上海技术物理研究所 |
| 主分类号： | G02B5/20 | 分类号： | G02B5/20 |
| 代理公司： | 中国科学院上海专利事务所 | 代理人： | 高毓秋,郭芙 |
| 地址： | 上海市中山北*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 微米 红外 长波 滤光 | ||
【权利要求书】：
1、一种红外滤光器，以硅材料为基片，真空蒸镀上多层介质膜组成，其特征在于：
a)基板3以聚氧硅为材料；
b)介质膜材料分别选用锗，硒化锌和硫化锌，由锗/硒化锌，锗/硫化锌二组三种材料分别在基板3的正面1和背面2上蒸镀多层干涉膜；
c)薄膜系统采用周期对称膜系并引入修正膜层作为反射堆，其排列为：
在正面1上；
DO.77(HL1.3H)0.77(L/2HL/2)8(L/2HL/2)80.2L1.4H2.21
在背面2上：L
D1.3H0.23(L/2HL/2)90.29(L/2HL/2)90.38(L/2HL/2)90.5(L/2HL/2)90.65(L/2HL/2)81.7H2.2l，
排列式中，D表示硅基板，H表示锗的λ0/4层，L表示硒化锌的λ0/4层，L表示硫化锌的λ0/4层，波长λ0为5.4微米。
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