[发明专利]带涂层的挤压工模具及其制造方法

权利要求书

1、一种由基材、在基材上的中间层、在中间层上的耐磨涂层组成的热挤压用工模具，其特征是：

[1]所说的基材是各种热挤压工模具用钢、高速钢中的一种；

[2]所说的中间层是氮含量高于化学计量的高氮氮化钛层，其厚度为0-1微米，

[3]所说的涂层是成份接近化学计量的氮化钛层。

2、一种按权利要求1所说的热挤压用工模具的制造方法，所说的制造方法包括基材表面处理，沉积工序，基材表面处理包括表面的化学物理清洗、在真空下脱气及离子轰击表面活化处理，所说的表面沉积工序采用物理气相沉积法，其特征是：

所说的沉积工序的工艺条件为：基材温度Ts350-590℃，负偏压Ub0-240伏，在气体总压强0.07-1.2Pa，工作气体氩的分压强0.03-0.6Pa，反应气体氮的分压强0.03-0.6Pa的条件下，熔融金属钛蒸气与氮反应，在基材表面沉积生成氮化钛涂层，沉积速度每秒5-80埃.

3、按权利要求2所说的热挤压用工模具的制造方法，其特征是在表面予处理后还有表面予沉积工序，所说的表面予沉积工序的工艺条件是：基材温度Ts350-590℃，负偏压Ub0-240伏，在气体总压强0.1-1.6Pa，工作气体氩的分压强0.04-0.8Pa，反应气体氮的分压强0.04-1.0Pa，反应气体氮的分压强与工作气体氩的分压强之比β为1-7的条件下，熔融金属钛的蒸气与氮反应在基材表面沉积生成高氮含量的氮化钛中间涂层，沉积速度每秒5-80埃.

4、根据权利要求3所说的挤压用工模具的制造方法，其特征是在进行所说的基材的表面活化处理、表面予沉积工序和沉积工序时，基材作平移和行星转动.

5、根据权利要求4所说的挤压用工模具的制造方法，其特征是在所说的表面活化处理工序后及沉积工序后还有遮蔽工序.

6、根据权利要求5所说的挤压用工模具的制造方法，其特征是在所说的沉积工序后还有后沉积工序，其沉积条件为气体总压强为0.1-0.8Pa，工作气体氩的分压强为0.05-0.4Pa，反应气体氮的分压强0.05-0.5Pa.