[发明专利]制造硅单晶的设备

权利要求书

1、在连续送料型引上法制造硅单晶的设备中，包括一个将硅料连续送进坩埚的加料装置，其改进之处包括：

一个充有减压惰性气体的箱体；

该箱体内安置一个转筒并装有一个卧式旋转轴，在所说的转筒外圆表面上附有多个能截住颗粒的部件；

一个安装在所说的转筒上方的贮料斗，该贮料斗底部排出口与所说的转筒外圆表面之间的距离是这样一个范围，其最小值要大于所说的硅粒最大直径，其最大值则由一极限值构成，该极限值以一个静止角使所说的转筒内从所说的排出口排出的所说的硅粒停止转动因而堆积在所说的转筒外圆表面。

2、根据权利要求1制造硅单晶的设备，其中，在所说的转筒外圆表面上，所说的能截住颗粒的部件包括多个凸起。

3、根据权利要求1制造硅单晶的设备，其中在所说的转筒外圆表面上，所说的多个能截住颗粒的部件包括多个沟槽。

4、根据权利要求1制造硅单晶的设备，其中在所说的转筒外圆表面上所说的多个能截住颗粒的部件包括多个凸起和多个沟槽。

5、根据权利要求2制造硅单晶的设备，其中在所说的凸起是齿状凸起。

6、根据权利要求2制造硅单晶的设备，其中在所说的凸起包括多个与旋转轴平行的板型凸起。

7、根据权利要求2制造硅单晶的设备，其中在所说的凸起包括多个各自独立安置的圆柱形凸起。

8、根据权利要求3制造硅单晶的设备，其中所说的沟槽包括多个垅沟状沟槽。

9、根据权利要求3制造硅单晶的设备，其中所说的沟槽包括多个网状沟槽。

10、根据权利要求3制造硅单晶的设备，其中所说的沟槽包括多个凹坑状沟槽。

11、根据权利要求4制造硅单晶的设备，其中在所说的转筒外圆表面上所说的多个能截住颗粒的部件包括多个圆柱形凸起和多个凹状沟槽。

12、根据权利要求1制造硅单晶的设备，其中，与所说的硅粒相接触的所说的贮料斗和所说的转筒部件至少由二氧化硅，硅或聚四氟乙烯制造的。

13、根据权利要求3制造硅单晶的设备，其中所说的沟槽包括多个弯拱形沟槽。

14、根据权利要求1制造硅单晶的设备，其中所说的硅原料加料速度是以控制所说的转筒转速的方式来控制。