[发明专利]具有锯齿槽形的反射式变周期光栅

权利要求书

1、具有锯齿槽形的反射式变周期光栅，其剖面为锯齿槽形，其特征在于闪耀角为连续变化，槽距的变化规律定义为光栅调制函数，光栅结构参数应满足关系式：

Λ i= m λ Sin Ii + Sin θ i m = ± 1 , ± 2 ……(1) ]]>

∧_i为光栅中第I-1个槽与第I个槽的中心距离，第I个光栅槽处的入射角Iλ和衍射角θ_i应满足公式：

Sin Ii = ± XI -Xil i = ± (XI - X i) (XI - X i ) 2 + YI 2 (2) ]]>

Sin θ 1= ±XO - X ir i= ± (XO - X i ) (XO -X i ) 2 + YO 2 (3) ]]>

锯齿槽的每个槽具有不同的闪耀角γ_i，γ_i与入射角1λ的衍射角θ_i之间应满足关系式：

γ_i=(1/2(Ii+θ_i)

2、如权利要求1所述的具有锯齿槽形的反射式变周期光栅，其特征在于对于非中心波长λ_i的“像点”位置的座标F应为：