[发明专利]可半水溶液显影的光敏金导电体组合物无效

专利信息
申请号: 90108179.5 申请日: 1990-08-21
公开(公告)号: CN1050448A 公开(公告)日: 1991-04-03
发明(设计)人: 威廉·约翰·内伯;詹姆斯·杰里·奥斯本 申请(专利权)人: 纳幕尔杜邦公司
主分类号: G03F7/06 分类号: G03F7/06;G03F7/032
代理公司: 中国专利代理有限公司 代理人: 黄家伟
地址: 美国特*** 国省代码: 暂无信息
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摘要:
搜索关键词: 水溶液 显影 光敏 导电 组合
【权利要求书】:

1、一种可半水溶性显影的感光金导体组合物,其可在氧化或基本上非氧化环境中烧烤,含有下列混合物:

(a)细碎的金固体颗粒,具有不大于20m2/g的表面积/重量比,并且至少有80%(W)的微粒粒度为0.5-10μm,和

(b)细碎的无机粘合剂微粒,具有550-825℃范围内的玻璃转换温度,表面积/重量之比不大于10m2/g,并且至少90%(W)的微粒粒度为1-10μm,(b)与(a)的重量比在0.0001-0.25的范围内,被分散在组成如下的有机载体中:

(c)有机聚合粘合剂,

(d)光引发体系,

(e)可光硬化单体,

(f)有机介质。

其改进在于有机聚合粘合剂是一个共聚体或共聚物,包含(1)非酸性共聚用单体,包括丙烯酸C1~C10烷基酯,甲基丙烯酸C1~C10烷基酯或其混合形式,(2)酸性共聚用单体,包括烯化的不饱和羧酸,限定条件是所有酸性共聚用单体含量占共聚物的5%(W)~少于15%(W),其中的有机聚合粘合剂具有不大于100000的分子量,且其中的组合物在光化性照射,成像曝光后可在含有0.63%(W)硼酸钠和8.7%(W)乙二醇-乙醚单丁醚的水溶液中显影。

2、根据权利要求1的组合物,其中的有机聚合粘合剂是甲基丙烯酸酯共聚物。

3、根据权利要求1的组合物,其中的酸性共聚用单体不超过粘合剂重量的15%(w)。

4、根据权利要求3的组合物,其中的有机聚合粘合剂的分子量不大于50000。

5、根据权利要求4的组合物,其中所说的分子量不大于20000。

6、根据权利要求1的组合物,其中的有机介质是乙酸丁基卡必醇酯。

7、根据权利要求1的组合物,其中的有机介质含有分散剂。

8、一种制备可半水溶性显影的感光金导体组合物的方法,该组合物可在氧化或基本上非氧化环境中烧烤,包括下列混合物:

(a)细碎的金固体微粒,具有不大于20m2/g的表面积/重量比,且至少有80wt%的微粒粒度为0.5-10μm,和

(b)细碎的无机粘合剂微粒,具有550-825℃范围内的玻璃转换温度,表面积/重量之比不大于10m2/g,并且至少90wt%的微粒粒度为1-10μm,(b)与(a)的重量比在0.0001-0.25的范围内,被分散在一个组成如下的有机载体中:

(c)有机聚合粘合剂,和

(d)光引发体系,溶于

(e)可光硬化单体,及

(f)有机介质

其改进在于有机聚合粘合剂是共聚体或共聚物包含(1)非酸性共聚用单体,包括丙烯酸C1~C10烷基酯,甲基丙烯酸C1~C10烷基酯或它们的混合形式,(2)酸性共聚用单体,包括烯化的不饱和羧酸,限定条件是所有酸性共聚用单体含量占聚合物重量的5%~小于15%(w),其中的有机聚合粘合剂具有不大于100000的分子量,其中的组合物在光化照射,成像曝光后可在半水溶性的,含有0.62%(w)硼酸钠和8.7%(W)乙二醇-乙醚单丁醚的溶液中显影,更进一步说,各组分混合之前,成分(b)的细碎无机粘合剂微粒被冷冻干燥。

9、根据权利要求8的方法,其中的有机介质含有分散剂。

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