[发明专利]一种检测压力的传感器测压盒无效

专利信息
申请号: 90108224.4 申请日: 1987-06-26
公开(公告)号: CN1018478B 公开(公告)日: 1992-09-30
发明(设计)人: 汤马斯·A·克纳什特;罗格·L·弗里克;斯蒂文·M·布鲁斯霍夫 申请(专利权)人: 罗斯蒙德公司
主分类号: G01L9/12 分类号: G01L9/12;G01L13/06
代理公司: 中国国际贸易促进委员会专利代理部 代理人: 石江荣
地址: 美国明*** 国省代码: 暂无信息
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摘要:
搜索关键词: 一种 检测 压力 传感器 测压盒
【权利要求书】:

1、一种检测压力的传感器的测压盒,包括用脆性非金属材料制作的检测片,该检测片具有测量压力用的可变形的中央部分和支承中央部分的凸边,一个检测片的承托片,所述的检测片的支托凸边界面处固定到承托片上,检测片和承托片具有构成隔离面的相对面,当检测片由于受到超过设计的压力被推向承托片时相对面彼此接合,相对面有一个凹面部分,其特征在于上述凹面部分为其变形轮廓的反射象部分,变形轮廓是当有凹面部分的一个相对面的反面受到压力,使这一相对面向外凸出时,所述的检测片相对于界面在凸边承托处变形;而所述检测片的反面持续受压时,凸出的相对面有一层材料被去除,使检测片的相对面基本平坦,在检测片不受反向压力时,原来凸出的相对面变为凹面部分。

2、根据权利要求1的传感器的测压盒,其特征在于上述凹面部分为其变形轮廓的反射象,变形轮廓是当有凹面部分的一个相对面的反面受到压力,使这一相对面向外凸出时,所述检测片相对于接触在凸边承托处变形。

3、根据权利要求1或2的传感器的测压盒,其特征在于其中检测片由半导体材料制成而承托片为一玻璃基片。

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