[发明专利]测量探针

权利要求书

1、一种用于测量工件的探针，该探针具有一条纵向Z轴并包括一个主体和一个针头或针头固定件，该针头或针头固定件有一个由许多个回复力之间的平衡所限定的相对于主体的静止位置，该多个回复力中的至少一个第一个回复力其大小随针头或针头固定件的位移而变化，其特征在于所述回复力是(i)由一个膜片弹簧提供的，或(ii)由一个其一部分构成该膜片弹簧的构件提供的，以便针头或针头固定件在Z轴方向上的移动变化膜片弹簧具有的锥形角度。

2、如权利要求1所述的探针，其特征在于：其中多个所述回复力的大小随针头或针头固定件的位移而变化。

3、如权利要求2所述的探针，其特征在于所述膜片弹簧包括：第一和第二弹性件，第一弹性件以第一方向作用在所述针头或针头固定件上，而第二弹性件以与第一方向相反的第二方向作用在所述针头或针头固定件上。

4、如权利要求2所述的探针，其特征在于所述膜片弹簧包括一个弹性件，该弹性件有一个以第一方向作用在所述针头或针头固定件上的第一部分和以与第一方向相反的第二方向作用在所述针头或针头固定件上的第二部分。

5、如权利要求3或4所述的探针，其特征在于：第一和第二方向基本上是反向平行的。

6、如权利要求3所述的探针，其特征在于：第二弹性件包括一个基本上是薄片状的部件。

7、如权利要求6所述的探针，其特征在于：第二弹性件包括一个或多个片簧部分。

8、如权利要求6或7所述的探针，其特征在于：第二弹性件通过一个或多个张紧件作用在主体或在针头或针头固定件上。

9、如上述权利要求中1至4的任一项所述的探针，其特征在于：膜片弹簧定位在一个基本上垂直于Z轴的平面上。

10、如权利要求9所述的探针，其特征在于：当针头或针头固定件位于其所述静止位置时，所述膜片弹簧受力作用而成一个大致圆锥形状。

11、如权利要求3所述的探针，其特征在于：第二弹性件是一个压缩弹簧。

12、如上述权利要求1至4的任一项所述的探针，其特征在于：在Z轴方向上的测量力至少比垂直于Z轴方向的平面上的测量力要大一个数量级。

13、如权利要求3所述的探针，其特征在于还包括：一个或多个另外的弹性件，每一个都以与第一方向相反的方向作用在针头或针头固定件上。

14、一种测量探针，它具有一纵向Z轴并包括：

一个主体;

一个针头或针头固定件;

一个将针头或针头固定件相对主体支承以使其移动通过一个测量范围、并在主体和针头或针头固定件之间施加一个第一回复力的第一回复装置;

作用在主体和针头或针头固定件上并在其间施加一个与第一回复力相反的第二回复力的第二回复原装置;

至少一个根据针头或针头固定件的位置或移动发出一个输出信号的传感器，

在整个所述测量范围内第一和第二回复装置提供相互相反的第一和第二回复力，

其特征在于第一回复装置包括一个膜片弹簧，或一个其一部分构成该膜片弹簧的构件，以便针头或针头固定件在Z轴方向上的移动变化膜片弹簧具有的锥形角度。

15、如权利要求13所述的探针，其特征在于：所有在主体和针头或针头固定件之间的连接都是挠性的。

16、如权利要求14或15所述的探针，其特征在于：该探针包括具有构成第一回复装置的第一部分和构成第二回复装置的第二部分的构件。