[发明专利]微电化泵及其制造方法

权利要求书

1、一种微电化泵，它包括：

一个基片，

一个接合于所述基片的薄膜板，并有打开和关闭形成在基片上的入口和出口的一个吸入阀和一个输出阀，一个形成泵腔的振动膜片，以及一个液体流动的流通管路系统，

一个接合于所述薄膜板顶部表面的表面板，以及

一个驱动所述振动膜片的驱动装置，

其特征在于：

所述输出阀由覆盖所述出口输入端的帽形阀体制成。

2、按照权利要求1的微电化泵，其特征在于：所述驱动装置是固定于振动膜片的压电元件。

3、按照权利要求1的微电化泵，其特征在于：所述入口通过置于输出阀间壁之上的另一腔体导向一具有吸入阀的腔体。

4、按照权利要求3的微电化泵，其特征在于：配置有所述振动膜片的所述泵腔导向具有输出阀的另一腔体以及置于吸入阀间壁之上的又一腔体。

5、按照权利要求1的微电化泵，其特征在于：至少在输出阀一侧的间壁的顶部表面暴露于空气。

6、按照权利要求1的微电化泵，其特征在于：

至少在输出阀一侧的间壁的顶部表面暴露于空气并且有一用来检测间壁移动的检测元件、诸如应力计或压电元件、被固定于间壁。

7、按照权利要求1的微电化泵，其特征在于：

吸入阀由覆盖所述入口输出端的帽形阀体制成。

8、按照权利要求1的微电化泵，还包括一置于所述基片和薄膜板之间的中间基片，其特征在于：所述中间基片具有侧向入口和横向出口。

9、按照权利要求1的微电化泵，其特征在于：所述薄膜板分为具有吸入阀的上薄膜板构件和泵腔以及具有输出阀的下薄膜板构件，所述两构件通常配备有从入口导向具有所述吸入阀的腔体的液流管路以及从所述泵腔导向所述输出阀腔体的另一液流管路的中间基片接合。

10、按照权利要求2的微电化泵，其特征在于，在振动膜片的中央提供有一支撑物以便使该支撑物的末端与基片相接触。

11、按照权利要求2的微电化泵，其特征在于：所述支撑物是沿振动膜片直径方向提供的筒形突块和凸形突块。

12、按照权利要求10的微电化泵，其特征在于：所述支撑物是与基片接触的振动膜片自身。

13、按照权利要求2的微电化泵，其特征在于：在第一薄膜板上形成其由单独薄膜板制成的前端与振动膜片的中心接触的支撑物，并且该支撑物具有从泵腔导向输出阀腔体的液流管路。

14、按照权利要求2的微电化泵，其特征在于：所述振动膜片有一检测驱动装置压电元件状态的检测装置。

15、按照权利要求14的微电化泵，其特征在于：该检测装置是电绝缘固定于压电元件上的检测压电元件。

16、按照权利要求14的微电化泵，其特征在于：所述输出阀具有一检测间壁状况的检测装置。

17、按照权利要求16的微电化泵，其特征在于：输出阀的检测装置是固定于通过振动传递突块连接到输出阀间壁的表面板振动部分的上表面的检测压电元件。

18、按照权利要求16的微电化泵，其特征在于：所述输出阀的检测装置是一固定于输出阀上表面的检测压电元件。

19、按照权利要求14或16的一种微电化泵，其特征在于：检测装置具有从波形上升开始在预定或确定间隔的多个阶段内将检测波形与标准电压比较的检测电路。

20、按照权利要求1的微电化泵，还包括对吸入阀和输出阀的封闭部分施加预压的粘附膜片。

21、一种微电化泵的制造方法该微电化泵主体薄膜板配备有分别用同样材料制成的振动膜片、液流管路、以及阀膜片并且玻璃基片夹在该薄膜板中间，所述方法包括以下步骤：

（1）通过在面方向（100）硅片上进行金属版印刷技术的湿润型异向性蚀刻制造所述薄膜板，以形成所述振动膜片、管路、所述阀膜片以及在所述阀膜片上的开口，

（2）形成仅对阀膜片的阀部分施加预压的粘附膜片，所述阀部分与玻璃基片的表面相接触。