[实用新型]物理气相沉积用杆状基体夹持装置

权利要求书

1、物理气相沉积用的杆状基体夹持装置，由移动小车、移动小车传动装置、轨道、夹具、夹具传动装置组成，移动小车安置在沉积室内并落在轨道上，夹具安放在移动小车上，其特征是：

(1)夹具由左、右支架228及安放在支架上的零件构成，左、右支架228安装在长轴230上，长轴通过轴承211支承在移动小车的架体上，左、右支架对应的位置上均有至少一个夹具安装孔，左支架每个安装孔内装有小轴218，齿轮214和卡座222安装在小轴218上，右支架每个安装孔内装有小轴225，卡头224安装在小轴225上，

(2)夹具传动装置由长轴230，长轴230和支架228之间的行星轮系，中间传动和沉积室外传动装置组成，行星轮系由齿轮213和至少一个齿轮214组成，齿轮213与长轴的支座211固定成一体不旋转，长轴、中间传动安装到移动小车车架上，位于沉积室外的传动装置的输出轴103通过安装在沉积室内移动小车车架上的中间传动与长轴连接并传动长轴，轴103与轴103上的传动件采用能保证移动小车平移运动的滑链连接。

2、根据权利要求1所说的物理气相沉积用的杆状基体夹持装置，其特征是安装在移动小车车架上的中间传动采用齿轮传动，轴103与轴103上的传动齿轮之间采用可同时保证移动小车平移运动的花链连接。

3、根据权利要求1所说的物理气相沉积用的杆状基体夹持装置，其特征是左、右支架中任一支架为在长轴上可移动的支架，由导向柱233导向在长轴上移动，长轴适当部位制成花链轴，与移动支架的花链孔配合。

4、根据权利要求3所说的物理气相沉积用的杆状基体夹持装置，其特征是移动小车分为底车6和台车13，台车13位于底车6上面，两者间以联体14联成一体。