[实用新型]光CVD设备

权利要求书

1、一种光化学气相淀积(光CVD)设备，由净化室和电气控制柜两部分组成，其特征在于净化室包括光反应室，循环净化系统，升降传动机构和光源电源箱；电气控制柜包括微型计算机，温控仪，质量流量控制器，浮子流量计，气路显示板，增压泵机组，高效过滤器，高效粒子扑集器，混合器，冷阱，防腐真空电磁阀，气体管路及总电源箱。

2、根据权利要求1所述的设备，其特征在于光反应室包括低压汞灯，人造水晶窗，导流板，档板，远红外加热器，进气空腔，出气空腔，样品台和室体。

3、根据权利要求1所述的设备，其特征在于循环净化系统由净化风机，一次过滤器和二次过滤器所组成。

4、根据权利要求1和2所述的设备，其特征在于混合器－进气空腔－导流板－挡板－出气空腔构成气体以层流状态趋面流过样品台的循环机构。

5、根据权利要求1所述的设备，其特征在于粒子扑集器和真空泵构成粉尘的收集和剩余气体的排出机构。