[实用新型]容栅位移传感器

权利要求书

1、一种用于测量位移的容栅位移传感器，其特征在于有两个平行安装并可相对位移的电极组构成一个电容系统，

其中一个电极组沿位移方向分布有若干个等节距P/2的接收极，接收极间用同样节距的接地极隔开，各接地极联接在一起并接地；

另一个电极组沿位移方向分布有砖墙形图形的多组发射极，每组8块，依次为C₁、C₂、C₃、C₄、C₅、C₆、C₇、C₈，每块的节距为P/2排成等高的4排，第一排为C₁、C₅，第二排为C₂、C₆，第三排为C₃、C₇，第四排为C₄、C₈，相邻排发射极的隔离间隙位置互相错开P/8，同名的发射极联接在一起，这个电极组中还分布有引出极；

传感器工作时在8个发射极上分别施加相位互差π/4的同波形交变激励电压，在引出极输出合成信号。

2、根据权利要求1所述的容栅位移传感器，其特征在于接收极和接地极图形完全一致，用直栅状隔离间隙隔开，全部接地极用金属孔化孔引至背面导电层以联接在一起可靠接地。

3、根据权利要求1所述的容栅位移传感器，其特征在于把两个电极组制成封闭圆形，用于进行角位移测量。