[实用新型]光刻机的自动调焦装置

权利要求书

1、一种包括光电探测信号处理系统以及调平机构和调焦机构的光刻机自动调焦装置，其特征在于：调平机构中，调平板3由一压紧装置4固定，分别由螺纹付5和电机6组成的三个支撑装置，活动地支撑着调平板3，由压电陶瓷驱动器9和弹性支座以及零位调节装置10构成调焦机构。

2、如权利要求1所述光刻机自动调焦装置，其特征在于螺杆7与电机6连接每一个支撑装置的电机6的下端连有一控制其运动范围的导电环。

3、如权利要求1所述的光刻机自动调焦装置，其特征在于弹性支座中的支架11与滑座12之间弹性连接，支架11上固定有一压板13，安装有光刻机主物镜14，压电陶瓷驱动器9固定在滑座12的悬臂上，其顶端15顶着压板13。

4、如权利要求1或3所述的光刻机自动调焦装置，其特征在于零位调节装置10有一凸轮和锁紧机构18连接弹性支座的基座16和滑座12，基座16固定在光刻机主体17上。

5、如权利要求1或3所述的光刻机自动调焦装置，其特征在于支架11与滑座12之间采用至少2对平行弹簧板弹性连接。

6、如权利要求1或3所述的光刻机自动调焦装置，其特征在于平衡弹簧19的一端与弹性支座的支架11连接，一端与光刻机掩模对准座20连接。