[发明专利]失谐式激光偏振片及其制备方法

权利要求书

1、一种失谐式激光偏振片，特征是其结构为：玻璃/失谐单半波或多半波带通滤光片/空气。

2、根据权利要求1所述的一种失谐式激光偏振片，特征是所说的失谐单半波或多半波带通滤光片为：

hL（HL）³H 3/2 L（HL）²3/2 H（LH）²3/2 LH（LH）³mL

n_H＝2.3 n_L＝1.45 （nd）_H＝（nd）_L＝239nm。

3、根据权利要求1或2所述的一种失谐式激光偏振片特征是：所说高折射率层的材料为TiO₂∶Ta₂O₅＝7∶3的混合材料。

4、一种用于制备失谐式激光偏振片的方法，它包括：

a.选择TiO₂作为高折射率，而SiO₂作为低折射率材料分装在电子束坩埚中;

b.清洁玻璃基板和真空室;

c.抽真空至1～5×10^-5乇;

d.电子束蒸发加热薄膜材料，用光电极值法控制厚度;

e.最后偏振片在大气中进行退火处理;

特征是：

f.所说a中的高折射率材料为TiO₂和Ta₂O₅的混合材料;

g.所说的d采用Kaufman离子源轰击清洁基板，然后用电子束加热薄膜材料，实施离子辅助淀积;

5、根据权利要求4所述的一种用于制备失谐式激光偏振片的方法，特征是：

h.所说f中混合材料TiO₂∶Ta₂O₅＝7∶3;

i.所说g中离子源轰击时O₂压为1～3×10^-4乇，离子轰击能量为100±50ev。