[发明专利]测试固体表面与界面特性的方法

权利要求书

1、本发明涉及一种测试固体表面与界面特性的方法，其特征在于：在固体材料表面上用光刻、离子溅射、刻划的方法制作出平行等间隔的槽沟，原子自动地从具有高化学势的峰流向低化学势的谷，形成反射式固体一维表面波光栅；

2、根据权利要求1所述的测试固体表面与界面特性的方法，制作的一维表面波光栅，其特征是：在激光束的照射下，形成一列线阵分布的清晰的衍射光斑，可直接读出衍射角或由电荷耦合光电器件（CCPD）、驱动电路、模数转换、计算机等系统自动地进行衍射光斑的光强分布及变化的光信息处理，由表面波光栅常数及其变化规律得到固体表面与界面的应变、应力和张力的分布以及变化的动态特性;

3、根据权利1、2所述的测试固体表面与界面特性的方法，制作表面波光栅的光信息处理方法，其特征还在于原子扩散的结果引起表面波光栅振幅变矮的状况，由衍射光斑的光强变化规律，得到固体表面与界面原子扩散的动态特性;

4、根据权利要求2、3所述的测试固体表面与界面特性的方法，其特征是要在高温和真空条件下，测试分析应变、应力、张力以及原子扩散随温度变化的规律;

5、根据权利要求2、3所述的测试固体表面与界面特性的方法，其特征是在常温下加载荷或剥层的方法，测试其表面与界面或沿深层分布的应变、应力、张力、原子扩散的定量结果。