[发明专利]碳氮化钛系列镀层离子镀工艺

权利要求书

1、一种碳氮化钛镀层离子镀工艺，其特征在于采用碳、氮、钛三元调色，变参数分层过渡，以在金属基材上形成碳氮化钛系列镀层，该方法包括：

(1)采用三元调色可产生金色、紫色、褐色、灰色、枪色、黑色及相应的深浅不同颜色的装饰镀层，每种颜色的碳氮化钛镀层对应于每种确定的钛、氮、碳配比，

黑色 蒸发源电流60A，N₂+C₂H₂分压5.3×10^-1帕，原子比：

Ti15～40%，N₂10～25%，C40～80%，

灰色 蒸发源电流60A，N₂+C₂H₂分压5.3×10^-1帕，原子比：

Ti15～40%，N₂0.1～10%，C45～80%，

枪色 蒸发源电流50A，N₂+C₂H₂分压1.6×10^-1帕，原子比：Ti20～40%，N₂0.1～10%，C45～80%，

褐色 蒸发源电流60A，N₂+C₂H₂分压2.6×10^-1帕，原子比：

Ti25～40%，N₂25～60%，C5～10%，

紫色 蒸发源电流60A，N₂+C₂H₂分压3.3×10^-1帕，原子比：Ti25～45%，N₂30～65%，C2～4%，

金色 蒸发源电流60A，N₂+C₂H₂分压5.3×10^-1帕，原子比：

Ti30～50%，N₂35～70%，C1～2%；

(2)整个镀层分为2+i层次，变参数分层过渡连续完成，第一层先镀钛，第二层镀氮化钛，以后各层镀碳氮化钛，最后一层碳氮化钛对应于所要求颜色的钛、氮、碳配比，

几种颜色的层次与各层的N₂/C₂H₂值为，

黑色 TiNC镀层分2～5层过渡，各层的N₂/C₂H₂值分别由3/1→1/1→1/2→1/3→1/4，

灰色 TiNC镀层分2～5层过渡，各层的N₂/C₂H₂值分别由3/1→1/1→1/3→1/4→1/100，

枪色 TiNC镀层分2～5层过渡，各层的N₂/C₂H₂值分别由3/1→1/1→1/3→1/4→1/100，

褐色 TiNC镀层分1～3层过渡，各层的N₂/C₂H₂值分别由10/1→7/1→5/1，

紫色 TiNC镀层分1～3层过渡，各层的N₂/C₂H₂值分别由30/1→25/1→20/1，

金色 TiNC镀层为一层，N₂/C₂H₂值为100/1，

镀层时，前几层蒸发源电流取80～150A，工件偏压70～100V，最后两层蒸发源电流取50～60A，工件偏压30～50V。

2、如权利要求1所述的碳氮化钛系列镀层离子镀工艺，其特征在于采用不同的碳氢化合物作反应气体时，用CH₄代替C₂H₂作反应气体，镀层真空在1.3～11.7帕，1.3～3.9帕较好。

3、如权利要求1、2所述的任一种碳氮化钛系列镀层离子镀工艺，其特征在于所说的金属基材是钢、铁、铜、铝、锌铝及其相似的金属。