[发明专利]平行平面薄膜光束分束方法及其分束器

权利要求书

1、一种平行平面薄膜光束分束方法，其特征为它包括下列步骤：

(1)将基片加工成平行平面P和F基片，

(2)根据需要确定相邻两束光之间距离，从而选择基片厚度B和调整基片入射面入射光与其法线的夹角α，

(3)在入射平面P及出射平面F上绘制一入射激光束多次反射的反射点，

(4)在入射面P上，通过入射光点和其相邻的反射点之间连线的中心点，绘制一条平行于基片底边L的直线K，将基片分成两部分(1)及(2)，第(1)部分镀增透膜，反射率小于0.1%，第二部分镀全膜，反射率大于99.8%，

(5)在出射面F上，分别通过相邻反射点之间的中心点，绘制平行于基片底边L的直线，将出射面分成N条长方形窄带，

(6)在出射面N条长方形窄带上各自镀反射膜，但反射率各不相同，它们从基片底边L构成的第一层窄带开始到最上面一层的反射率分别为 (N-1)/(N) ， (N-2)/(N-1) ， (N-3)/(N-2) ……， 1/2 ，增透膜。

2、根据权利要求1所述方法制作的光束分束器，其特征为一长方体基片，入射面P和出射面F平行，它们与相邻平面垂直，入射面P上有一条平行于底边L的直线K，将该基片分为两部分（1）和（2），第（1）部分镀增透膜，反射率小于0.1%，第（2）部分镀全反膜，反射率大于99.8%，基片F面上有N条平行于底边L′的长方形窄带，在各窄带上镀反射膜，从底边L构成的第一层窄带开始，到最上面一层的反射率分别为 (N-1)/(N) ， (N-2)/(N-1) ， (N-3)/(N-2) … 1/2 ，增透膜，根据相邻两束光之间距离选择基片厚度B及基片法线与水平线之间的夹角α值。