[发明专利]膜／基结合强度的检测方法及其装置

权利要求书

1.一种膜/基结合强度的检测方法，其特征在于：

(1)利用单摆冲击划痕仪的划头以1～3m/s的速度划过带有薄膜的平面样品，划头依次与膜层表面接触，进入表层，透过膜/基界面，侵入基材直至最深处后再以相反的过程掠出样品表面；

(2)在此过程中分别测出不同入侵深度划痕的能量消耗和最大剪切力；获得界面结合强度的判据基于膜/基界面的不连续性，利用在界面破坏时出现的切向力和能耗的突变，求出突变时对应的法向力和显露膜/基界面单位长度所消耗的能量来评价薄膜和基材的结合强度。

2.一种专用权利要求1所述方法的膜/基结合强度的检测装置，它由机身、样品台、摆锤、角度控制架、指标盘、千分表组成，评价薄膜与基材界面结合强度的检测装置，其特征在于：

(1)所述的样品台系由切向、法向承力板、支架、紧固螺栓、应变片、上、下斜块、底座组成，其中应变片沿支架水平、垂直方向分别贴放在法向、切向承力板上，上、下斜块通过两斜面相接座落在带有滑轨的底座中，下斜块可以通过转动手柄来旋转丝杠作水平移动；

(2)所述的摆锤的锤头的端部被加工成槽型，划头为三角形刀片，尖头为90°圆锥体，划头通过螺栓固定在槽内。