[发明专利]多功能激光调阻机

权利要求书

1、一种多功能激光调阻机，是有Nd：YAG激光器(2)产生激光束，经扩束会聚系统(3)扩束聚焦在样品工作台(4)中处于焦平面位置上的样品盘(26)上，样品工作台(4)上还架有目视观测与摄像监视系统(5)，由阻值动态测量系统(6)实时监测输出反馈控制信号给激光与Q开关电源(8)，从而由激光与Q开关电源(8)控制Nd：YAG激光器(2)的激光输出，在Nd：YAG激光器(2)的同一光路中有可见光波段的调准指示激光(1)，还有供Nd：YAG激光器(2)冷却所用的超净循环水冷系统(7)，其特征在于Nd：YAG激光器(2)的全水冷聚光腔(17)出入水口的圆角部位有消除滞留水构件(71)，聚光腔(17)金属支座的底面两侧中央部位有泄压孔(72)，聚光腔(17)下面有转动、平动、升降三维可调的支撑架(73)；扩束会聚系统(3)中有置于Z方向调焦镜筒(47)中的非球面会聚镜(23)，在会聚镜(23)与样品(26)之间置有双色转向镜(25)，当补偿光路时，有补偿镜(21)置于扩束负透镜(20)和扩束正透镜(22)之间，将补偿镜(24)置于非球面会聚镜(23)和双色转向镜(25)之间；样品工作台(4)上的样品是置于有大热容量的样品与铜热沉样品盘(26)里，样品盘(26)是置于X-Y拖板上，样品盘(26)的顶上有冷光照明光源(28)和吸排烟器(74)；作为Nd：YAG激光器(2)水冷系统的超净循环水冷却系统中有列管式换热器(61)。

2、根据权利要求1所述的一种多功能激光调阻机，其特征在于消除滞留水构件（71）可用填料填充于水流线外面的滞水空间，填料表面有光学高反射薄层;或者是在滞留水汽的空间于高位处开孔，与水冷循环回路并联接出疏导分路。

3、根据权利要求1所述的一种多功能激光调阻机，其特征在于非球面会聚镜（23）和双色转向镜（25）的镜座有轴向拉伸调节结构（42）、（43），双色转向镜（25）还有旋转调节结构（43）、（52），对非球面会聚镜（23）有Z方向调焦的由移动螺母（44）、滚柱（45）、止推螺母（46）、调焦镜筒（47）、圆头螺钉（48）和减压片（49）构成的手轮。

4、根据权利要求1所述的一种多功能激光调阻机，其特征在于Nd：YAG激光器（2）的开关系统（13）是声光Q开关，或者是电光Q开关。

5、根据权利要求1所述的一种多功能激光调阻机，其特征在于聚光腔（17）金属支座上泄压孔（72）的直径是φ1-3mm之间。

6、根据权利要求1所述的一种多功能激光调阻机，其特征在于作为光程补偿所用的补偿镜（21）和补偿镜（24）有拉推结构的支撑架，分别装于扩束负透镜（20）及扩束正透镜（22）之间和非球面会聚镜（23）及双色转向镜（25）之间。

7、根据权利要求1所述的一种多功能激光调阻机，其特征在于双色转向镜（25）镀有的双色膜是对Nd：YAG激光器（2）的1.06μm波长的45°全反射膜和对作为调准指示激光器（1）的氦氖激光器波长632.8nm的45°半透膜。